customized 單腔立式甩干機

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產(chǎn)品標簽

甩干機單腔半導體英思特

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公司介紹 主營產(chǎn)品

深圳市矢量科學儀器有限公司是集半導體儀器裝備代理及技術服務的高新技術企業(yè)。

致力于提供半導體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導體分析測試設備、半導體光電測試儀表及相關儀器裝備維護、保養(yǎng)、售后技術支持及實驗室整體服務。

公司目前已授實用新型權利 29 項，軟件著作權 14 項，是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。

展開

冷熱臺，快速退火爐，光刻機，納米壓印、磁控濺射，電子束蒸發(fā)

價格區(qū)間	面議	應用領域	電子/電池,電氣,綜合

1. 產(chǎn)品概述：

單腔立式甩干機是一種用于實現(xiàn)物料高效脫水的設備。其通過特定的機械結構和工作原理，能快速將物料中的水分分離出去，達到甩干的目的。

2. 設備應用：

o 半導體行業(yè)：在半導體制造過程中，可用于晶圓等半導體材料的清洗后脫水，確保晶圓表面干燥，避免水分殘留對后續(xù)工藝產(chǎn)生影響，例如在光刻、鍍膜等工序前，保證晶圓的潔凈度和干燥度，有助于提高半導體產(chǎn)品的質(zhì)量和性能 1。

o 電子元件制造：對電子元件進行清洗后的脫水處理，能有效去除元件表面的水分，防止水分對元件的性能和可靠性造成損害，如在印刷電路板（PCB）制造中，可使清洗后的 PCB 快速干燥，為后續(xù)的焊接、組裝等工序提供良好條件。

3. 設備特點：

優(yōu)點：清洗系統(tǒng)應用于各種清洗和干燥工藝。不同配置（可放置臺面操作的設備、單腔單立、雙腔）；適用于晶圓尺寸200mm；佳的占地，設備帶有滾輪可移動；可靠性；模塊化結構；其便于維修；易于使用和操作。

一般特征：適用于晶圓直徑至200mm；25片晶圓單盒工藝；標準的高邊和低邊花籃；可選內(nèi)置電阻率檢測傳感器來控制晶圓的清洗工藝；用冷或熱的N2輔助晶圓干燥；離心頭容易更換。

去靜電裝置安裝于工藝腔室區(qū)：去離子水回收；去阻率檢測裝置；機械手自動加載；可放置臺面操作的設備、單腔單立、雙腔；去離子水加熱系統(tǒng)；底座置放不銹鋼滾輪；溶劑滅火裝置；適用特殊設計的花籃。