QMA401 微水分析儀

密析爾公司不斷改進石英晶體振蕩微平衡技術，最新研發了新產品QMA401。最新型的分析儀采用新一代的精密石英晶體傳感器，確保高精度的測量，不受背景氣體成分改變的影響。即使其他濕度技術在低于1ppm的微水領域表現不佳，采用行業認可的晶體振蕩技術的最新產品QMA401，卻可以提供高可靠性和簡便的測量，并且大大降低用戶的維護成本費用。

可靠性

為了保證高可靠性，QMA401的主要部件 — 濕度發生器，傳感器和流量控制裝置 — 確保了精確控溫。確保樣氣或環境溫度變化時，測量結果不受影響。這款分析儀采用質量流量計確保精確控制樣氣和標準氣的流量，使流量精度不超過±0.1 ml/分鐘。外加一個壓力傳感器，確保樣氣壓力產生波動的情況下，這個系統也能持續保證測量和計算參數的精確度。

QMA401 微水分析儀亮點

• 全量程從0.1 ~ 2000 ppmV 范圍，實現高精度的測量

• 使用簡便，現場維護方便快捷，維護成本低

• 精度高達 0.1ppmV或讀數的10%，取較大值

• 針對變化中取樣條件進行可靠的測量 — 根據樣氣壓力和流量的變化進行自動調整

• 不受背景氣體組分改變的影響

• 維護間隔時間長

• 十分鐘時間就可以替換干燥筒

• 直觀的菜單界面

• Ethernet或者 USB 數字通訊

• SD卡數據記錄

• 可選內置取樣系統和旁路

QMA401 微水分析儀應用

• 高純氣生產

• 空分企業

• 半導體 CVD 潔凈室

• 半導體蝕刻室

• 發電機氫冷裝置

• 塑料粒子干燥

技術參數

性能

測量技術 快速響應的石英晶振技術

校驗范圍 0.1 ~ 700ppmV

測量范圍 0.1 ~ 2000 ppmV

精度 0.1 ppmV （ 0.1 ~ 1 ppmV）

讀數的 ±10%（1 ~ 2000 ppmV）

重復性 ±0.1 ppmV （ 0.1 ~ 1 ppmV）

讀數的±5% （ 1 ~ 2000 ppmV）

最小測量值 0.1 ppmV

測量單位 ppmV, ppmW, mg/nm3, vapor pressure (Pa), frost point (°C), lb/MMscf

響應速度 T63 <2 分鐘 T95 <5 分鐘

自動校驗 內部濕度發生器

可溯源到NPL 到 NIST

靈敏度 0.1 ppmV 或讀數的1%，取較大值

電氣參數

供電 85 ~ 264 V AC, 47/63Hz, 110 ~ 300 V DC

最大功耗 111 W

報警 1 x 系統報警，無電壓轉換(FORM C)

3 x 過程報警，可選各種參數，無電壓轉換

(FORM C)

通訊 模擬輸出：4-20 mA或 1 ~ 5 V2種可選

數字通訊： RS485/USB Modbus RTU, Ethernet 

Modbus TCP

數據記錄 直接記錄到 SD 卡或通過 PC 應用軟件傳輸

顯示 7” 彩色LCD觸摸屏

工作條件

進氣壓力 最大1 barg

可選高壓版：最高300 barg

出氣壓力 大氣壓

樣氣流量 300ml/分鐘，總流量 @ 大氣壓

樣氣溫度 0 ~ +100°C

工作環境 +5 ~ +45°C，最高達到 90% RH

機械參數

外殼 19” x 4U x 434mm 外殼

氣體接口 1/4” VCR(M)

重量 13.5kg