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    化工儀器網>產品展廳>半導體行業專用儀器>光刻及涂膠顯影設備>無掩模光刻機/直寫光刻機> MDA-12FA全自動光刻機

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    MDA-12FA全自動光刻機

    具體成交價以合同協議為準
    • 公司名稱 科睿設備有限公司
    • 品牌 其他品牌
    • 型號
    • 產地
    • 廠商性質 代理商
    • 更新時間 2025/12/4 13:20:28
    • 訪問次數 129

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    科睿設備有限公司(Cross-Tech Equipment Co.,Ltd )為多家國外高科技儀器廠家在中國地區的代理。科睿公司一貫秉承『誠信』、『品質』、『服務』、『創新』的企業文化,為廣大中國用戶提供儀器、設備,周到的技術、服務和*的整體解決方案。在科技日新月異、國力飛速發展的中國,納米科學研究、薄膜材料(包括半導體)生長和表征、表面材料物性分析、生物藥物開發、有機高分子合成等等領域,都需要與歐美發達國家*接軌的儀器設備平臺來實現。科睿設備有限公司有幸成長在這個火熱的年代,我們愿意化為一座橋梁,見證中國科技水平的提升,與中國科技共同飛速成長。
          科睿設備有限公司(Cross-Tech Equipment Co.,Ltd)總部設在中國香港,在中國上海設立了分公司,在國內多個城市設立了辦事處或維修站,旨在為客戶提供*的產品和服務。2010年,科睿設備有限公司在上海設立備品倉庫及維修中心,同時提供在大陸的各項技術服務和后期的維修保障服務,我們擁有專業的應用維修人員,并且都曾到國外廠家進行了專門的培訓。上海配備了多種維修部件,能使我們的服務更加快捷和方便。我們承諾24小時電話響應,72小時內趕到現場維修。以利于更好、更快的為中國大陸服務!
          因為信任,所以理解.我們理解用戶的困難和需求。我們已經為國內眾多科研院所和大學根據用戶的要求配制和提供了上百套系統,主要用戶包括:中科院物理所,中科院半導體所,中科院大連化學物理研究所,國家納米中心,上海納米中心,北京大學,清華大學,中國科技大學,南京大學,復旦大學,上海交通大學,華東理工大學,浙江大學,中山大學,西安交通大學,四川大學,中國工程物理研究院,香港大學,香港城市大學,香港中文大學,香港科技大學等。



    光刻機,鍍膜機,磁控濺射鍍膜儀,電子束蒸發鍍膜儀,開爾文探針系統(功函數測量),氣溶膠設備,氣溶膠粒徑譜儀,等離子增強氣相沉積系統(PECVD),原子層沉積系統(ALD),快速退火爐,氣溶膠發生器,稀釋器,濾料測試系統

    MDA-12FA全自動光刻機

    MIDAS SYSTEM公司開發并生產用于半導體、MEMS、LED及納米技術相關的實驗室和工業領域的光罩對準曝光機和甩膠機,是韓國第1家研發并商業化光罩對準曝光機的企業,始終致力于不斷完善、增強技術型企業的核心競爭力。

    MIDAS SYSTEM公司具有專業化的設計團隊,以客戶需要為己任,生產、供應滿足國內外企業、科研院所不斷增長的應用需求,并且提供半導體工藝相關的設備需要。

    MDA-12FA型曝光機是一款MIDAS公司新開發的產品,代表了下一代全區域光刻系統。這一新型半自動化對準曝光平臺具有更高的重復光刻精度以及更可靠的操作,非常適合陶瓷及其他探針卡應用,同時MDA-12SA型半動化光罩對準曝光機具有更高的生產能力和容易操控。

    MDA-12FA全自動光刻機

    操作簡單,PLC操作,PC控制,圖像采集和數據記錄,100多個程序配方,顯微鏡位置控制系統,自動對齊標記搜索功能


    類型:全自動

    掩模版尺寸:最大14英寸

    基板尺寸:8~12英寸

    均勻梁尺寸:13.25*13.25英寸

    紫外線光源:紫外線燈,2KW,5KW

    光束波長:350~450nm

    光束均勻度 <±5%

    365 nm強度  2千瓦:~25毫瓦/?5千瓦:~45毫瓦/?

    對齊方式:全自動

    對準精度:1 um

    加工方式:軟、硬、真空接觸、接近

    工藝分辨率:2 um@1 um PR厚度,真空接觸



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