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    化工儀器網>產品展廳>行業專用儀器及設備>其它行業專用儀器>激光脈沖沉積(PLD)>TLS-Dicing® 實現快速、潔凈且高性價比的晶圓切割

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    TLS-Dicing® 實現快速、潔凈且高性價比的晶圓切割

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    岱美儀器技術服務(上海)有限公司(Dymek Company Ltd ,下面簡稱岱美)總部設在中國香港,成立于1989年,是一間擁有多年經驗的高科技設備分銷商,主要為數據存儲、半導體、光通訊、高校及研發中心提供各類測量設備、工序設備以及相應的技術支持,并與一些重要的客戶建立了長期合作的關系。自1989年創立至今,岱美的產品以及各類服務、解決方案廣泛地運用于中國香港,中國大陸(上海、東莞、北京),中國臺灣,泰國,菲律賓,馬來西亞,越南及新加坡等地區。


    岱美在中國大陸地區主要銷售或提供技術支持的產品:

    晶圓鍵合機、納米壓印設備、紫外光刻機、涂膠顯影機、硅片清洗機、超薄晶圓處理設備、光學三維輪廓儀、硅穿孔TSV量測、非接觸式光學三坐標測量儀、薄膜厚度檢測儀、主動及被動式防震臺系統、應力檢測儀、電容式位移傳感器、定心儀等。


    岱美重要合作伙伴包括有:

    Thetametrisis, EVG, FSM, Opto-Alignment, Herz, PLSINTEC, Film Sense, Reditech, Lazin, Delcom, Microsense, Shb, boffotto, RTEC, Kosaka, Nanotronics, MTInc, 4D, Daeil, Microphysics,

    n&k Technology, First Nano, Schmitt, LESCO, Otsuka, STI, Kurashiki, Ryokosha, SURAGUS, Westbond...


    如有需要,請聯系我們,了解我們如何開始與您之間的合作,實現您的企業或者組織機構長期發展的目標。






    膜厚儀,輪廓儀,EVG鍵合機,EVG光刻機,HERZ隔震臺,Microsense電容式位移傳感器

    產地類別 進口 價格區間 面議
    應用領域 能源,電子/電池,汽車及零部件,電氣,綜合

    TLS 劃片(熱激光分離)是一種獨特的技術,利用熱誘導產生的機械應力來分離硅(Si)、碳化硅(SiC)、鍺(Ge)等脆性半導體材料。該技術可將晶圓分割成芯片,同時實現邊緣質量,顯著提升制造良率與產能。與傳統的劃片技術(如刀片切割和激光燒蝕)相比,TLS 劃片工藝更潔凈,切割邊緣無微裂紋,并能獲得更高的抗彎強度。

     

    TLS 劃片的切割速度可達每秒 300 毫米,相比傳統劃片方法,其工藝吞吐量可提升高達 10 倍,尤其適用于碳化硅(SiC)基器件,能夠真正實現高產能的大規模生產。

    此外,與其它晶圓劃片方法相比,TLS 劃片可將每片晶圓的劃片成本降低一個數量級甚至更多。

     

    TLS-Dicing 是一種無切縫(kerf-free)的激光解理工藝,可實現: 

    切割后芯片邊緣質量好

    •幾乎無崩邊和微裂紋

    •抗彎強度

    •電學特性

    成本優勢與效率

    •高工藝速度帶來高吞吐量

    •無需刀具,幾乎無耗材,顯著降低擁有成本(CoO)

    •無切縫解理,幾乎不產生顆粒 

    TLS-Dicing 是一種用于解理脆性半導體材料的兩步分離工藝。

     

    實現快速、潔凈且高性價比的晶圓切割



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