TLS-Dicing® 實現快速、潔凈且高性價比的晶圓切割
具體成交價以合同協議為準
- 公司名稱 岱美儀器技術服務(上海)有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 TLS-Dicing®
- 產地
- 廠商性質 代理商
- 更新時間 2026/1/9 14:55:01
- 訪問次數 215
產品標簽
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| 產地類別 | 進口 | 價格區間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 能源,電子/電池,汽車及零部件,電氣,綜合 |
TLS 劃片(熱激光分離)是一種獨特的技術,利用熱誘導產生的機械應力來分離硅(Si)、碳化硅(SiC)、鍺(Ge)等脆性半導體材料。該技術可將晶圓分割成芯片,同時實現邊緣質量,顯著提升制造良率與產能。與傳統的劃片技術(如刀片切割和激光燒蝕)相比,TLS 劃片工藝更潔凈,切割邊緣無微裂紋,并能獲得更高的抗彎強度。
TLS 劃片的切割速度可達每秒 300 毫米,相比傳統劃片方法,其工藝吞吐量可提升高達 10 倍,尤其適用于碳化硅(SiC)基器件,能夠真正實現高產能的大規模生產。
此外,與其它晶圓劃片方法相比,TLS 劃片可將每片晶圓的劃片成本降低一個數量級甚至更多。
TLS-Dicing 是一種無切縫(kerf-free)的激光解理工藝,可實現:
切割后芯片邊緣質量好
•幾乎無崩邊和微裂紋
•抗彎強度
•電學特性
成本優勢與效率
•高工藝速度帶來高吞吐量
•無需刀具,幾乎無耗材,顯著降低擁有成本(CoO)
•無切縫解理,幾乎不產生顆粒
TLS-Dicing 是一種用于解理脆性半導體材料的兩步分離工藝。




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