LFHS3 三軸納米定位平臺
| 參考價(jià) | ￥ 60000 |
| 訂貨量 | ≥1件 |
- 公司名稱 北京漢達(dá)森機(jī)械技術(shù)有限公司
- 品牌 Piezoconcept
- 型號 LFHS3
- 產(chǎn)地 法國
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時(shí)間 2026/2/5 18:06:39
- 訪問次數(shù) 63
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| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 價(jià)格區(qū)間 | 3萬-5萬 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,能源,制藥/生物制藥,電氣,綜合 | XY軸行程 | 120mm×80mm |
| 分辨率 | 22nm | 重復(fù)精度 | 700nm（RMS） |
| 負(fù)載 | 5kg | 速度 | 0-7mm/s |
| 適配顯微鏡品牌 | 徠卡、尼康、奧林巴斯、蔡司 | 線性度 | 0.02% |
PIEZOCONCEPT LFHS3 3軸納米定位平臺 高速集成型XYZ軸位移設(shè)備 工業(yè)檢測專用
在工業(yè)高速檢測、超分辨成像等領(lǐng)域，XYZ軸的高速同步、大孔徑與集成化是核心需求。PIEZOCONCEPT LFHS3 3軸納米定位平臺以“高速動態(tài)響應(yīng)、大孔徑集成、高同步精度”為核心特點(diǎn)，由LFHS2 XY軸平臺與集成Z軸組成，解決了傳統(tǒng)3軸平臺組裝復(fù)雜、同步性差的行業(yè)痛點(diǎn)，成為工業(yè)檢測與科研的優(yōu)選設(shè)備。
一、PIEZOCONCEPT LFHS3 三軸納米定位平臺核心技術(shù)參數(shù)優(yōu)勢
該平臺XY軸行程30μm~75μm，Z軸行程50μm，分辨率低至0.03nm（XY軸）、0.05nm（Z軸），重復(fù)定位精度優(yōu)于0.15nm（XY軸）、0.1nm（Z軸）。主體采用7075鋁合金材質(zhì)，XY軸剛度4N/μm、3N/μm，Z軸剛度2.7N/μm，水平負(fù)載1kg，垂直負(fù)載0.5kg。核心亮點(diǎn)為66mm×66mm大孔徑設(shè)計(jì)，兼容大型樣品與光學(xué)組件，XYZ軸共振頻率達(dá)3000Hz/2000Hz/3500Hz，掃描速度500Hz，階躍響應(yīng)時(shí)間短于2ms。
| 技術(shù)參數(shù) | XY軸 | Z軸 | 系統(tǒng)優(yōu)勢 |
|---|---|---|---|
| 行程 | 30/50/75μm | 50μm | 多行程選項(xiàng)，適配不同場景 |
| 分辨率 | 0.03/0.05/0.075nm | 0.05nm | 納米級精度，滿足高速檢測需求 |
| 共振頻率 | 3000Hz/2000Hz | 3500Hz | 高速響應(yīng)，支持動態(tài)掃描 |
| 孔徑尺寸 | 66mm×66mm | 大孔徑兼容大型樣品與光學(xué)組件 | |
| 負(fù)載 | 1kg（水平）/0.5kg（垂直） | 承載檢測探頭與重型樣品 | |
二、PIEZOCONCEPT LFHS3 三軸納米定位平臺行業(yè)應(yīng)用場景
在工業(yè)高速檢測領(lǐng)域，該平臺可用于半導(dǎo)體芯片的三維缺陷檢測，XY軸高速掃描覆蓋芯片表面，Z軸精準(zhǔn)控制檢測深度，500Hz掃描速度提升檢測效率，大孔徑兼容檢測探頭與樣品夾具；在超分辨顯微鏡應(yīng)用中，XYZ軸的高同步精度可實(shí)現(xiàn)樣品的三維快速成像，0.03nm分辨率確保成像細(xì)節(jié)清晰，適配生物醫(yī)學(xué)與材料科學(xué)的微觀觀測；在激光加工領(lǐng)域，該平臺可精準(zhǔn)控制激光焦點(diǎn)的三維位置，高速響應(yīng)能力適配動態(tài)加工需求，大孔徑設(shè)計(jì)兼容加工樣品與輔助光學(xué)組件。
北京漢達(dá)森機(jī)械技術(shù)有限公司，田永福。
三、產(chǎn)品核心優(yōu)勢與用戶價(jià)值
PIEZOCONCEPT LFHS3 3軸納米定位平臺的核心優(yōu)勢在于“集成化+高速高精度”，出廠前已完成XYZ軸集成與校準(zhǔn)，避免用戶自行組裝的同步性問題。66mm×66mm大孔徑設(shè)計(jì)解決了傳統(tǒng)3軸平臺遮擋光路或樣品的問題，適配各類大型檢測設(shè)備。閉環(huán)PI反饋控制可動態(tài)補(bǔ)償溫度變化與蠕變，硅高分辨率傳感器確保XYZ軸同步精度，線性度誤差低于0.02%。安裝過程便捷，底部配備標(biāo)準(zhǔn)化安裝孔，電纜出口位置合理，便于集成到工業(yè)生產(chǎn)線或科研設(shè)備中。
對于工業(yè)檢測設(shè)備采購經(jīng)理，該平臺的集成化設(shè)計(jì)降低安裝與調(diào)試成本，高速特性提升生產(chǎn)檢測效率；維修工程師可通過清晰的軸標(biāo)識與標(biāo)準(zhǔn)化接口快速排查故障，平臺結(jié)構(gòu)堅(jiān)固，故障率低，維護(hù)成本低。作為3軸定位設(shè)備，該平臺為工業(yè)高速檢測、超分辨成像等場景提供穩(wěn)定可靠的三維定位支持，助力企業(yè)提升產(chǎn)品質(zhì)量與科研效率。
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