Free3D.ZTxTy.070 三自由度并聯(lián)運動臺
| 參考價 | ¥ 200000 |
| 訂貨量 | ≥1件 |
- 公司名稱 北京卓立漢光儀器有限公司
- 品牌 ZOLIX/卓立漢光
- 型號 Free3D.ZTxTy.070
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2026/3/6 11:16:32
- 訪問次數(shù) 216
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| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 產(chǎn)品種類 | 電動 |
|---|---|---|---|
| 價格區(qū)間 | 10萬-20萬 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,生物產(chǎn)業(yè),電子/電池,公安/司法,綜合 |
三自由度并聯(lián)運動臺 — Free3D.ZTxTy.070
產(chǎn)品特色
· 超安靜運動
· 納米級分辨率
· 斷電位置自保持
· 并聯(lián)驅(qū)動結(jié)構(gòu)
· 內(nèi)置高精度光學(xué)位置傳感器
· 靈活高的可定制方案
產(chǎn)品圖片&尺寸

產(chǎn)品參數(shù)
1 | 可選版本 | .HV,高真空版本; |
2 | 外形尺寸 | ?70×82 mm |
3 | 主體材料 | 標準版, .HV,.UHV鋁合金,鋼:800 g;,NM純鈦,陶瓷:460 g |
4 | *大垂直負載 | 5 kg |
5 | 中空孔徑 | ?10 mm |
6 | 運動行程Z,θX,θY* | ±2.5 mm,±9°,±10° |
7 | 單向重復(fù)精度Z,θX,θY | ±0.2 μm,±8μrad,±8μrad |
8 | 最小步伐Z,θX,θY | 10 nm,1 μrad,1μrad |
9 | 傳感器類型 | 光學(xué)位置傳感器 |
10 | 位置傳感器分辨率 | 2 nm |
11 | 線纜&接頭 | 默認:屏蔽線纜D-Sub15;.UHV版本: Kapton漆包線, D-Sub15(PEEK) |
12 | 控制器規(guī)格 | MC-Free3D |
三自由度并聯(lián)運動臺 — Free3D.ZTxTy.100
產(chǎn)品特色
· 超安靜運動
· 納米級分辨率
· 斷電位置自保持
· 并聯(lián)驅(qū)動結(jié)構(gòu)
· 內(nèi)置高精度光學(xué)位置傳感器
· 靈活的可定制方案
產(chǎn)品圖片&尺寸
產(chǎn)品參數(shù)
1 | 可選版本 | HV,高真空版本;UHV,超高真空版本;NM,*全無磁版本; |
2 | 外形尺寸 | ?100 × 78 mm |
3 | 主體材料 | 標準版,+HV,+UHV 鋁合金,銅:1010 g;NM 純鈦,陶瓷:580 g |
4 | *大垂直負載 | 500 g |
5 | 中空孔徑 | ?20 mm |
6 | 運動行程 Z, 6X, 6Y* | 0–20 mm, ± 30°, ± 30° |
7 | 單向重復(fù)精度 Z, 6X, 6Y* | ± 0.2 μm, ± 10 μrad, ± 10 μrad |
8 | 最小步優(yōu) Z, 6X, 6Y* | 10 nm, 1 μrad, 1 μrad |
9 | 傳感器類型 | 光學(xué)位置傳感器 |
10 | 位置傳感器分辨率 | 2 nm |
11 | 線纜 & 接頭 | 默認:屏蔽線纜 D-Sub15;UHV 版本:Kapton 涂層線纜,D-Sub15 (PEEK) |
12 | 控制器規(guī)格 | MC-Free3D |



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