化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>化工機(jī)械設(shè)備>泵閥類>其它泵閥設(shè)備>FS-N 供應(yīng)IWAKI易威奇半導(dǎo)體小型氣動(dòng)風(fēng)囊泵
FS-N 供應(yīng)IWAKI易威奇半導(dǎo)體小型氣動(dòng)風(fēng)囊泵
| 參考價(jià) | ¥ 1510 | ¥ 1500 |
| 訂貨量 | 1臺 | ≥2臺 |
- 公司名稱 鈴田(上海)科技有限公司
- 品牌 IWAKI/日本易威奇
- 型號 FS-N
- 產(chǎn)地 日本
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2026/3/10 11:20:45
- 訪問次數(shù) 42
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電子產(chǎn)品,電子工具,電子元器件,儀器儀表,五金交電,防靜電設(shè)備,勞保用品,輔料,自動(dòng)化設(shè)備,非危險(xiǎn)性化工產(chǎn)品,機(jī)械設(shè)備及配件,通信設(shè)備
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 能源,電子/電池,鋼鐵/金屬,汽車及零部件,綜合 |
|---|
日本IWAKI易威奇半導(dǎo)體氣動(dòng)泵與風(fēng)囊泵廣泛應(yīng)用于對流體控制精度、耐腐蝕性及潔凈度要求的工業(yè)領(lǐng)域,尤其在半導(dǎo)體制造中表現(xiàn)突出。其核心產(chǎn)品采用全氟塑料材質(zhì)與氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)技術(shù),實(shí)現(xiàn)無金屬污染、低脈動(dòng)輸送,適用于高純化學(xué)品供給、清洗工藝與CMP制程等關(guān)鍵環(huán)節(jié)。
供應(yīng)IWAKI易威奇半導(dǎo)體小型氣動(dòng)風(fēng)囊泵
供應(yīng)IWAKI易威奇半導(dǎo)體小型氣動(dòng)風(fēng)囊泵

一、主要適用行業(yè)
?半導(dǎo)體制造?
用于化學(xué)液體供藥、單片清洗、光刻膠輸送及CMP(化學(xué)機(jī)械拋光)工藝。
FS-N系列和PDS-H115系列可耐受、硫酸等強(qiáng)腐蝕性化學(xué)品,確保晶圓表面潔凈度達(dá)ISO Class 1標(biāo)準(zhǔn)。
FLP系列低脈動(dòng)設(shè)計(jì),適用于對流量穩(wěn)定性要求的單晶圓處理過程。
?醫(yī)療與化學(xué)分析?
氣動(dòng)隔膜泵用于高純試劑輸送,避免交叉污染。
KB系列風(fēng)囊泵適用于自動(dòng)分析儀器中的微量藥液添加。
?新能源產(chǎn)業(yè)?
支持燃料電池、二次電池(如鋰電池)和太陽能電池生產(chǎn)中的化學(xué)品循環(huán)與供給系統(tǒng)。
?PCB(印刷電路板)與電鍍行業(yè)?
用于酸堿液輸送、表面處理液循環(huán),MDM系列PFA型號可將污染物析出降至。
?食品加工與制藥?
KB/KBA/KBR系列結(jié)構(gòu)緊湊、無泄漏,符合衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn),適用于食品機(jī)械與藥品配液系統(tǒng)。
?環(huán)保與水處理?
TC-X系列氣動(dòng)隔膜泵用于工業(yè)污水、市政污水處理,具備耐酸堿、耐腐蝕特性。
二、核心產(chǎn)品系列介紹
1. ?半導(dǎo)體氣動(dòng)風(fēng)囊泵(FS系列)?
?代表型號?:FS-80NT、FS-100NF、
FS-15HT、FS-30HT、FS-60HT、FS-100H
?特點(diǎn)?:
吐出量達(dá)100L/min,適用于大流量高壓力場景。
過流部件全采用PTFE/PFA氟樹脂材料,杜絕金屬離子污染。
內(nèi)置接近傳感器與漏液檢測功能,支持自動(dòng)化控制。
工作溫度范圍5~60°C,氣源壓力0.7MPa。
2. ?低脈動(dòng)氣動(dòng)風(fēng)囊泵(FLP系列)?
?代表型號?:FLP-60W、FLP-75W
?優(yōu)勢?:
脈動(dòng)范圍低至0.06MPa,無需外接阻尼器,節(jié)省空間與成本。
可輸送高粘度光刻膠,適用于LED、MEMS等精密工藝。
耐溫達(dá)180°C,適應(yīng)高溫工況下的穩(wěn)定運(yùn)行。
3. ?經(jīng)濟(jì)型風(fēng)囊泵(KB系列)?
?代表型號?:KB-3X、KBR-3X、KBA-3Z
?應(yīng)用場景?:
小流量、低壓力場合,如照片沖洗、自動(dòng)分析儀、食品加工設(shè)備中的定量加藥。
結(jié)構(gòu)簡單、維護(hù)方便,適合OEM設(shè)備配套使用。
4. ?氣動(dòng)隔膜泵(TC-X系列)?
?特點(diǎn)?:
流量范圍廣(8~950L/min),適用于低粘度至高粘度液體輸送。
IP66防護(hù)等級,防爆設(shè)計(jì),適用于易燃易爆環(huán)境。
全塑料泵體,耐酸堿腐蝕,適合工業(yè)污水處理。
5. ?高精度半導(dǎo)體專用泵(PDS-H115系列)?
?性能參數(shù)?:
吐出精度達(dá)12mL/shot,支持高粘度液體(10,000mPa·s)。
高壓輸出(1.0MPa),保障供藥系統(tǒng)穩(wěn)定性。
廣泛用于光刻膠、顯影液等高價(jià)值化學(xué)品的精準(zhǔn)輸送。
CFD系列
全氟材質(zhì)、高精度、分辨率高達(dá)1.0mL
精細(xì)流量調(diào)節(jié)的化學(xué)液補(bǔ)充系統(tǒng)
工作原理
壓縮空氣驅(qū)動(dòng)波紋管往復(fù)運(yùn)動(dòng),兩端接近開關(guān)控制行程;氣液隔離,無軸封泄漏風(fēng)險(xiǎn);通過調(diào)節(jié)氣壓 / 沖程頻率實(shí)現(xiàn)精密流量控制。
日本IWAKI易威奇半導(dǎo)體氣動(dòng)泵典型應(yīng)用場景
晶圓清洗(批量 / 單片)、SPM/H?PO?蝕刻液輸送、CMP 研磨液循環(huán) / 補(bǔ)給;
高純度化學(xué)品供液系統(tǒng)、混液循環(huán)、廢液處理;
禁止金屬污染、高溫強(qiáng)腐蝕的半導(dǎo)體濕法工藝段。

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