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    杭州太昊科技有限公司
                                                                        
    
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    氦質譜檢漏儀結構和工作原理
    
						
    
							時間：2014-12-24閱讀：5092
							
    
							
				
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							          氮質譜檢漏儀是用氦氣為示漏氣體的專門用于檢漏的儀器，它具有性能穩定、靈敏度高的特點。是真空檢漏技術中靈敏度zui高，用得zui普遍的檢漏儀器。
           氦質譜檢漏儀是磁偏轉型的質譜分析計。單級磁偏轉型儀器靈敏度為lO-9～10-12Pam3／s，廣泛地用于各種真空系統及零部件的檢漏。雙級串聯磁偏轉型儀器與單級磁偏轉型儀器相比較，本底噪聲顯著減小．其靈敏度可達10-14～10-15Pam3／s，適用于超高真空系統、零部件及元器件的檢漏。逆流氦質譜檢漏儀改變了常規型儀器的結構布局，被檢件置于檢漏儀主抽泵的前級部位，因此具有可在高壓力下檢漏、不用液氮及質譜室污染小等特點．適用于大漏率、真空衛生較差的真空系統的檢漏，其靈敏度可達10-12Pam3／s。
           氦質譜檢漏儀由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規組成的質譜室和抽氣系統及電氣部分等組成。
    


							
						
    
					
    
				
    
			
    
		
    



		 



  
    
    				
			

		
    
    
    
    
    
    
    
    
    
    

    

     
     
     
	 




	 
	
	
	

    
	
    
		
    
			
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