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| 應用領域 | 電子/電池,綜合 |
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膜厚控制儀
用于單層和多層鍍膜工藝的薄膜鍍層控制儀XTC/3裝備有ModelLock1技術，提供可靠的模式跳躍防止功能，可達到始終如一的鍍膜質量。使用XTC/3 薄膜鍍層控制儀，可高度準確地控制鍍膜速率與膜層厚度，具有能控制幾乎任何膜層數量的能力。容易安裝和穩定的可靠性，可確保高的生產率。
特 點
■有單膜層和多膜層型號
■ModelLock技術防止由于模式跳躍導致的膜厚誤差
■支持INFICON Crystal 12TM,CrystalSix?和雙探頭自動晶體切換，用于高生產率
■XTC/3M多膜層型號支持多至99個工藝過程，999個膜層，32個鍍層，2個
傳感器和兩個源
■XTC/3S單膜層型號支持多至9個鍍層，2個傳感器和兩個源
■易閱讀的TFT LCD圖形顯示器
■為便于檢索，可*的和描述性的薄膜與過程名稱
■有以太網連接軟件
■單獨運行（無需計算機）或用PC運行的Windows?軟件選件
■INFICON XTC/2控制儀的即插即用更換見（限于XTC/2功能和指令組）
膜厚控制儀
技術規范
功能，參數，或技術規范 | XTC/3S單層膜 | XTC/3M多層膜 |
測量分辨的頻率變化 | ＋0.05Hz | ＋0.05Hz |
測量區間 | 0.25秒 | 0.25秒 |
厚度和速率分辨/測量 | 0.06A,在工具/密度＝100 | 0.06A,在工具/密度＝100 |
基頻＝6M Hz | 基頻＝6M Hz | |
支持XTAL2轉換 | 是 | 是 |
計算機通訊 | RS232標準,以太網TCP/IP選件 | RS232標準,以太網TCP/IP選件 |
大RS232波特率 | 115.2千波特 | 115.2千波特 |
繼電器數 | 12標準, 無事例可 | 12標準, 事例可 |
可編程繼電器功能數 | 1 | 1 |
每個繼電器功能 | 1 | 1 |
繼電器電壓額定值 | 30伏直流或30伏交流RMS或30伏直流 | 30伏直流或30伏交流RMS或30伏直流 |
42V峰,在2.5安 | 42V峰,在2.5安 | |
輸入數 | 8TTL, 24伏直流大 | 8TTL, 24伏直流大 |
可編程輸入功能數 | 1, 無事例可 | 1, 事例 |
記入儀輸入數 | 1 | 1 |
手動電源/手持控制器 | 是 | 是 |
排風扇 | 無 | 無 |
測試模式 | 是 | 是 |
擋光器延遲 | 是 | 是 |
次級工具 | 是 | 是 |
大允許相移頻率 | 1.0 M Hz | 1.0 M Hz |
機箱尺寸 | 1/2機架,2U高度 | 1/2機架,2U高度 |
速率和膜厚顯示分辨 | 0.1A秒, 從0.0至99.9A/秒;1A/秒, 從 100至999A/秒 | 0.1A秒, 從0.0至99.9A/秒;1A/秒, 從 100至999A/秒 |
顯示膜厚分辨=1A | 顯示膜厚分辨=1A | |
通過輸入選擇鍍層 | 是 | 否 |
用戶指導語言 | 英文，中文 | 英文，中文 |
控制環 | PID | PID |
數據登錄 | 是 | 是 |
質量和穩定性功能 | 是 | 是 |
樣品和保持 | 是 | 是 |
坩堝選擇 | 是 | 是 |
坩堝反饋輸入 | 是 | 是 |
選擇控制電壓極性 | 是，+/-2.5，5，10伏 | 是，+/-2.5，5，10伏 |
15-位分辨率 | 15-位分辨率 | |
程序鎖定碼 | 是 | 是 |
用戶標簽過程/鍍層 | 否 | 是 |
XTC/2 RS232通訊兼容性 | 是（有限的） | 是（有限的） |
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