產(chǎn)品概述：
布魯克 Dimension Edge 原子力顯微鏡采用了布魯克的創(chuàng)新技術(shù)，達到了同類產(chǎn)品的較高水平，為納米尺度的科學研究提供了高效率、高性價比的工具。該產(chǎn)品產(chǎn)地為德國，應(yīng)用領(lǐng)域涵蓋半導體、納米材料、通訊、生物學、數(shù)據(jù)儲存、食品、化學、地質(zhì)、能源、環(huán)境等。
產(chǎn)品性能：
其精度與分辨率方面，系統(tǒng)噪音水平低，高度方向小于 0.05nm，水平方向小于 0.2nm；閉環(huán)定位精度高，XY 方向小于 0.5nm。
掃描范圍上，掃描器掃描范圍大，XY 方向不小于 90um*90um，Z 方向不小于 10um。
樣品兼容性表現(xiàn)為，測試樣品尺寸可達直徑 210mm，厚度 15mm，大樣品臺可進行馬達驅(qū)動、編程控制，能自動進行多區(qū)域測量，可直接放置各種類型和尺寸的樣品，減少制樣時間。
成像技術(shù)與模式上，采用的 PeakForce Tapping® 技術(shù)和 ScanAsys 原子成像優(yōu)化技術(shù)，有接觸模式、輕敲模式、相位成像、抬起模式等多種成像模式，還可提供納米機力學性能和電學模式，如相位成像、力譜、壓電響應(yīng)力顯微鏡、導電 AFM 和開爾文探針力顯微鏡等。
系統(tǒng)設(shè)計基于 Dimension Icon 平臺開發(fā)，具有低漂移、低噪音的特點，配備溫度補償位置傳感器，由模塊化設(shè)計的低噪聲控制電子器件驅(qū)動，可將探針掃描的閉環(huán)噪聲級別降低至單個化學鍵長度的量級。
操作便捷性上集成可視化反饋和預(yù)配置設(shè)置，操作簡單方便，從接觸圖形界面，到選擇優(yōu)良操作模式，都有線性程序設(shè)置的邏輯化工作流程。
分析軟件如 Dimension EDGE PSS 版本集成了 AutoMET 軟件，具有操作員級別和工程師級別兩種操作模式，可實現(xiàn)一鍵完成多達 9 個晶圓 “合格 / 失敗" 的分類測試結(jié)果自動輸出，工程師還可設(shè)置所有 “通過 / 失敗" 檢測標準。
樣品兼容性表現(xiàn)為，測試樣品尺寸可達直徑 210mm，厚度 15mm，大樣品臺可進行馬達驅(qū)動、編程控制，能自動進行多區(qū)域測量，可直接放置各種類型和尺寸的樣品，減少制樣時間。
成像技術(shù)與模式上，采用的 PeakForce Tapping® 技術(shù)和 ScanAsys 原子成像優(yōu)化技術(shù)，有接觸模式、輕敲模式、相位成像、抬起模式等多種成像模式，還可提供納米機力學性能和電學模式，如相位成像、力譜、壓電響應(yīng)力顯微鏡、導電 AFM 和開爾文探針力顯微鏡等。
系統(tǒng)設(shè)計基于 Dimension Icon 平臺開發(fā)，具有低漂移、低噪音的特點，配備溫度補償位置傳感器，由模塊化設(shè)計的低噪聲控制電子器件驅(qū)動，可將探針掃描的閉環(huán)噪聲級別降低至單個化學鍵長度的量級。
操作便捷性上集成可視化反饋和預(yù)配置設(shè)置，操作簡單方便，從接觸圖形界面，到選擇優(yōu)良操作模式，都有線性程序設(shè)置的邏輯化工作流程。
分析軟件如 Dimension EDGE PSS 版本集成了 AutoMET 軟件，具有操作員級別和工程師級別兩種操作模式，可實現(xiàn)一鍵完成多達 9 個晶圓 “合格 / 失敗" 的分類測試結(jié)果自動輸出，工程師還可設(shè)置所有 “通過 / 失敗" 檢測標準。
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