產品描述
Keysight M9614A 是一款 PXIe 五通道源/測量單元（SMU），專為高通道密度、高精度的測試需求設計。其單插槽模塊集成 5 個獨立通道，每個通道支持高達 30 V / 500 mA 的輸出范圍，分辨率低至 6 μV / 100 pA，能夠靈活執行從直流到脈沖的精確測量，適用于半導體可靠性測試、集成電路（IC）測試等需要多通道同步測量的場景。
主要特點
高通道密度與緊湊設計：單插槽模塊集成 5 個獨立通道，相比傳統臺式 SMU 和四通道 PXIe SMU，在相同空間內提供更高的通道密度，降低多通道測試系統的占地面積和成本。
寬輸出范圍與高分辨率：每通道支持 30 V / 500 mA 輸出，電壓分辨率 6 μV，電流分辨率 100 pA，滿足高精度電壓/電流源與測量需求。
靈活的脈沖與采樣能力：支持 500 kSa/s 采樣率下低 100 μs 脈沖寬度的測量，可捕獲快速動態信號變化，適用于窄脈沖或高速開關器件的測試。
無縫電流量程切換：動態范圍覆蓋四個量程，無需手動切換即可完成從納安級到毫安級的連續測量，縮短測試時間并提升效率。
低噪聲與高穩定性：與 PX0107A 低噪聲濾波器配合使用時，可實現 25 μVrms 的低電壓源噪聲性能，確保測試信號的純凈度。
模塊化與擴展性：基于 PXIe 標準架構，可輕松集成至自動化測試系統（ATE），支持多模塊同步操作，滿足復雜測試場景的需求。
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