無損檢測(cè)儀微焦點(diǎn)X射線透視檢查裝置

無損檢測(cè)儀微焦點(diǎn)X射線透視檢查裝置
Xslicer SMX-6010是一款堅(jiān)直照射型x射線檢查設(shè)備，配備了生產(chǎn)的微焦點(diǎn)x射線發(fā)生器和高分辦率平板探測(cè)器。通過高清晰度和寬動(dòng)態(tài)范圍圖像，可以觀察到細(xì)微的內(nèi)部結(jié)構(gòu)和缺陷。此外，可以簡單快速地進(jìn)行透視/CT模式切換，根據(jù)工作要求實(shí)施多種觀察。所覆蓋的檢查從體積不斷縮小的電子元件到密度日益提高的多層實(shí)裝基板。

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無損檢測(cè)儀微焦點(diǎn)X射線透視檢查裝置

一款堅(jiān)直照射型x射線檢查設(shè)備，配備了島津生產(chǎn)的微焦點(diǎn)x射線發(fā)生器和高分辦率平板探測(cè)器。通過高清晰度和寬動(dòng)態(tài)范圍圖像，可以觀察到細(xì)微的內(nèi)部結(jié)構(gòu)和缺陷。此外，可以簡單快速地進(jìn)行透視/CT模式切換，根據(jù)工作要求實(shí)施多種觀察。Xslicer SMX-6010所覆蓋的檢查從體積不斷縮小的電子元件到密度日益提高的多層實(shí)裝基板。

■ 傾斜CT

傾斜CT拍攝大型實(shí)裝板等時(shí)

因樣品在XY載物臺(tái)上，所以可移近X射線發(fā)生裝置，進(jìn)行高倍放大拍攝。

 

 

■ 直線CT

直線CT拍攝大型基板等時(shí)

如果為獲得高放大倍率而將樣品靠近X射線發(fā)生裝置側(cè)，CT拍攝中樣品會(huì)與X射線互相干擾，從而無法進(jìn)行高倍放大攝影。

如果是基板上的樣品，則不同于受樣品寬度影響的直線CT，傾斜CT可進(jìn)行高放大倍率攝影。

無損檢測(cè)儀微焦點(diǎn)X射線透視檢查裝置

系統(tǒng)構(gòu)成

方便維護(hù)的本公司自制X射線發(fā)生裝置與搭載各種安全機(jī)構(gòu)的系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)更低成本、更安全的使用.

X射線發(fā)生裝置:搭載了管電壓160kV·1μm分辨率 開放管X射線發(fā)生裝置。實(shí)現(xiàn)高壓發(fā)生器的一體化，無需進(jìn)行高壓電纜維護(hù)。自動(dòng)調(diào)整功能，使更換燈絲更加簡便。
※1μm分辨率：JIMA Chart測(cè)試

 

X射線檢出器:搭載300萬像素平板檢出器。

5軸載物臺(tái)
除搭載樣品的載物臺(tái)的XYZ軸外，檢出器也會(huì)傾斜、旋轉(zhuǎn)。5軸聯(lián)動(dòng)，支持所有角度的檢查。