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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
| 靶材材質(zhì) | 金 (Au)、金/鈀 (Au/Pd)、鈀 (Pd)、銀 (Ag)、鉑 (Pt) | 靶材尺寸 | 57mm |
|---|---|---|---|
| 產(chǎn)地類(lèi)別 | 國(guó)產(chǎn) | 價(jià)格區(qū)間 | 5萬(wàn)-10萬(wàn) |
| 濺射氣體 | 空氣 氬氣 | 控制方式 | 自動(dòng) |
| 樣品倉(cāng)尺寸 | 120x120mm | 樣品臺(tái)尺寸 | 63mm |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
詳細(xì)介紹
全自動(dòng)離子濺射儀JY-S120A是一款適用于實(shí)驗(yàn)室的桌面型臺(tái)式全自動(dòng)鍍膜儀，采用全新的智能化系統(tǒng)加上觸摸屏的操作方式，專(zhuān)為掃描電鏡成像中的非導(dǎo)電樣品高質(zhì)量鍍膜設(shè)計(jì)。設(shè)備配備直觀的操作界面，用戶(hù)可輕松設(shè)定真空度、濺射時(shí)間、電流等，并支持一鍵調(diào)用和運(yùn)行預(yù)設(shè)方案，極大簡(jiǎn)化了操作流程。
產(chǎn)品特性
高效濺射：采用高效的低壓直流磁控濺射技術(shù)，使鍍層顆粒細(xì)膩均勻，低溫濺射的同事避免了對(duì)樣品表面的損傷 。
用戶(hù)友好界面：配備觸控式7寸IPS液晶顯示屏 。界面友好，可一鍵運(yùn)行程序 。
自動(dòng)化操作：可設(shè)置一鍵啟動(dòng)，系統(tǒng)能自動(dòng)完成抽真空、腔室沖洗、濺射參數(shù)調(diào)整和濺射鍍膜等流程 。鍍膜完成后，可設(shè)置自動(dòng)或手動(dòng)泄壓 。
數(shù)字化控制：濺射電流采用數(shù)字化控制，不受樣品室內(nèi)氣壓影響，可獲得一致的鍍膜速率和理想的鍍膜效果 。
多種靶材兼容：可使用多種金屬靶材，包括金 (Au)、金/鈀 (Au/Pd)、鈀 (Pd)、銀 (Ag)、鉑 (Pt) 和鉑/鈀 (Pt/Pd)，靶材更換快速方便 。
系統(tǒng)監(jiān)控：系統(tǒng)可實(shí)時(shí)曲線顯示濺射電流和工作真空度 。同時(shí)具備歷史記錄功能，可查看歷史運(yùn)行程序日志，包括濺射電流、濺射時(shí)間、工作壓力等 。
方案存儲(chǔ)：內(nèi)置6個(gè)預(yù)設(shè)方案，可設(shè)置并存儲(chǔ)常用參數(shù)為自定義方案，一鍵調(diào)用運(yùn)行 。
語(yǔ)音提示：可開(kāi)啟/關(guān)閉屏幕觸控聲音，鍍膜完成后具備提示音 。
靶材使用記錄：可記錄靶材使用時(shí)間及次數(shù) 。
技術(shù)參數(shù)
| 鍍膜儀系統(tǒng) | 參數(shù) |
|---|---|
| 設(shè)備尺寸 | 450x310x340mm |
| 操作界面 | 7英寸IPS彩色液晶觸摸屏 |
| 靶材 | 57*0.1mm,標(biāo)配鉑金靶材 |
| 工作模式 | 連續(xù)模式、脈沖模式 |
| 操作方式 | 全自動(dòng)一鍵操作 |
| 樣品倉(cāng)尺寸 | 120x120mm |
| 真空泵系統(tǒng) | 參數(shù) |
| 抽氣速率 | 8 m3/h (2.2 L/s) |
| 極限真空 | 5×10?2 Pa |
| 功率 | 400W |
| 噪音 | 56dB |
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