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| 產地類別 | 國產 | 應用領域 | 能源,電子/電池,汽車及零部件,電氣,綜合 |
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JKZC-DCHH系列高低溫真空探針臺
產品概要
JKZC-DCHH系列高低溫真空探針臺是我司自主研發的一款在環境下給樣品加載電學信號的設備。可以實現 器件及材料表征的IV/CV特性測試，射頻測試，光電測試等。通過液氮或者壓縮機制冷，可以在防輻射屏內營造一個穩定的測試環境。在特殊材料，半導體器件等研究方向具有廣泛運用。
極低溫測試:因為晶圓在低溫大氣環境測試時，空氣中的水汽會凝結在晶圓上，會導致漏電過大或者探針無法接觸電極而使測試失敗。避免這些需要把真空腔內的水汽在測試前用泵抽走，并且保持整個測試過程 泵的運轉。
高溫無氧化測試:當晶圓加熱至300°C,400°C,500°C甚至更高溫度時，氧化現象會越來越明顯，并且溫度越 高氧化越嚴重。過度氧化會導致晶圓電性誤差，物理和機械形變。避免這些需要把真空腔內的氧氣在測試前用泵抽走,并且保持整個測試過程泵的運轉。
技術特點
-防輻射屏和熱沉設計；
•降溫速度快，常溫降至77k<25mins,大大提高測試效率；
•液氮自動控制系統，液氮流量模塊和溫度控制模塊一起聯動共同控制溫度。
詳細參數
產品類型 | 低溫開循環 | 低溫閉循環 | |
主體材料 | 航空鋁 | 航空鋁 | |
型號 | JKZC-JKZC-DCHH-196k | JKZC-JKZC-DCHH4k | |
外形 | 850*850*600mm | 900*850*600mm | |
重? | 約100kg | 約150kg | |
電力需求 | AC220V,50?60HZ | AC380V,50~60HZ | |
腔體 | 腔體尺寸 | 8英寸，帶4英寸高紅外透射率觀察窗 | |
樣品臺尺寸 | 2英寸/4英寸（鍍金） | 2英寸（鍍金） | |
樣品固定方式 | 真空導熱硅脂/彈簧壓片 | ||
真空度 | 10A-5pa最高真空 | ||
接口形式 | 電信接口，真空接口，光纖接口，冷源接口等 | ||
其它 | 帶防輻射屏和熱沉設計 | ||
溫控系統 | 制冷方式 | 液氮 | 壓縮機 |
溫控范圍 | 77K-473K （973k可選） | 4.2K~450K | |
溫控精度和穩定性 | 土 0丄度/±0丄度 | ||
降溫速度 | 常溫降到77k優于25mins | 常溫降到：10k優于180mins | |
控制方式 | 液氮自動流量控制 | 壓縮機控制 | |
光學系統 | 顯微鏡類型 | 體式顯微鏡/視頻顯微鏡/金相顯微鏡+CCD成像系統 | 體式/單筒顯微鏡+CCD成像系統 |
倍率范圍 | 16X~200X/40X~280X/20X ?2000X | 16X-200X/40X-280X | |
移動范圍 | 水平360度旋轉，Z軸50.8mm調焦，帶萬向支架 | ||
真空腔觀察窗尺寸 | 4inch | 4inch | |
CCD像素 | 2k或者4K相機，幀率60fps,帶拍照/錄像/測量功能等功能 | ||
探針臂 | 探針臂數? | 最多6個 | |
X￥Z行程 | 50mm-25mm-25mm | ||
點針精度 | 10微米/2微米 | ||
漏電精度 | 同軸夾具10pA/三軸夾具100 fA | ||
接口形式 | 三軸/SMA/K/光纖接口 | ||
頻率范圍 | JKZC-DCH-67G | ||
探針 | 探針直接 | lum~100um 可選 | |
材質 | 磚鋼，披銅 | ||
真空系統 | 機械泵/分子泵組/離子泵 | ||
可選附件 | 防震桌，鍍金卡盤，氣敏測試組件等 | ||
應用方向 | 高低溫真空環境下的芯片測試，材料測試，霍爾測試，電磁輸運特性等 | ||
搭配產品/半導體參數分析儀
我們經過近10年的發展,在測試儀器與探針臺的搭配方面具備十分 豐富的經驗。半導體參數分析儀方面，我們和是德科技(Keysight)、泰克(Tektronix)、概倫電子(PRIMARIUS)等公司的半導體參數分析儀有過多次搭配經驗，系列型號有Keysight B1500A、Keith ley 4200A-SCS、PRIMARIUS FS-Pro等,并為用戶提供半導體參數分析 儀與探針臺集成測試方案和服務。
搭配產品/矢量網絡分析儀
依靠與儀器設備廠商和設備集成經銷商所保持良好的合作關系，我司可為用戶提供是德科技(Keysight)、中電思儀(Ceyear)等公司的網絡分析儀和模塊，有Keysight E5063A/E5072A/E5061B/E5080B ENA、Keysight(N522x/3x/4xB) PNA、Keysight N5290A/ N5291A、Ceyear 3762A/B/C-S、Ceyear 3671C/D/E等,各系列型號的矢量網絡 分析儀和毫米波網絡分析儀，涵蓋不同測量頻率范圍、性能和功能，并 為用戶提供網絡分析儀與探針臺集成測試方案和服務,具備豐富的測 試經驗。
搭配產品/其他類型源表
在其它類型源表方面，比如tek2450,tek2600,keysight2900,普賽斯S300,鐵電分析儀，各類示波器，各類電源，頻譜儀等等都有多年的搭配經驗。
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