數(shù)字式氣體質(zhì)量流量控制器

產(chǎn)品型號

CS310C

產(chǎn)品類型

高精度型,快響應型,全金屬密封型,數(shù)字型,低零漂及溫漂型,抗電磁干擾

流量量程

1sccm,2sccm,3sccm,5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm,20slm,30slm

產(chǎn)品精度

±1.0% S.P. (≥35% F.S.) (±0.80% S.P. (≥30% F.S.) optional),±0.35% F.S. (＜35% F.S.) (±0.24% F.S. (＜30% F.S.) optional)

重復精度

±0.2% FS

線性

±0.5% F.S.

響應時間

≤0.8sec

工作溫度范圍

(0~50)°C

耐壓

3.5MPa

密封材料

金屬密封 Metal

輸入輸出信號

RS-485,DeviceNet

電源

±8 ~ ±16 VDC or +14 ~ +28 VDC

閥類型

常開或常閉

溫度系數(shù)

Span: ≤±0.05% F.S./℃,Zero ≤±0.02% F.S./℃

零點飄移指標

＜0.6%F.S. per year without autozero

電氣連接

D sub 15 pins Male,D sub 9 pins Male,DeviceNet Male

工作壓差范圍

(0.05～0.35) MPa （F.S.≤10slm）,(0.1～0.35)MPa（10slm≤F.S.≤30slm）

漏率

1×10-10atm•cc / sec He（1×10-11 Pa•m3 / sec He）

標準接頭形式

VCR1/4”,IGS W型,IGS C型

表面化學成分

Cr/Fe ratio ＞2.0,CrO thickness ＞20 Angstroms

表面粗糙度

5µinch

抗電磁干擾

CE

重量

1Kg