日立大型掃描電鏡

在以納米技術和生物技術為主的產業領域里，從物質的微細結構到組成成分，SEM在多種多樣的觀察與分析中得到了靈活應用。SEM用途日益擴大，但對于鋼鐵等工業材料和汽車零配件等超大/超重樣品，由于電鏡樣品臺能對應的樣品尺寸和重量受到限制，所以觀察時需要進行切割等加工。因此，對超大樣品不施以加工處理，便可直接觀察表面微細形貌和進行各種分析則成為重要的課題。

近年來為了實現各種材料的高功能化和高性能化，需要觀察并優化材料的微細結構。目前SEM的應用除了以往的研究開發以外，已擴展到質量和生產管理方面，使用頻率日益高漲。同時市場也對儀器的操作性能提出了更高的要求，以進一步減輕操作人員的負擔。

　　此次發售的“SU3800"與“SU3900"，支持超大/超重樣品的觀察，特別是大型掃描電鏡“SU3900日立大型掃描電鏡"，可選配最 大直徑300mm ^*1、最 大承重5kg樣品(比前代機型提高2.5倍^*2)的樣品臺，即使是超大樣品也無需切割加工即可觀察。

　　同時操作性能也得到了全面升級。樣品安裝完成后，通過自動光路調整及各種自動功能調整圖像，隨后可立即獲得樣品圖像，真正實現了快速觀察。

　　前代機型是僅僅通過CCD導航相機的單一彩色圖像尋找視野^*3。新機型則通過旋轉樣品臺，分別拍攝樣品各個部分，再將各個圖像拼接成1張大圖像，實現了大視野的相機導航觀察，十分適用于超大樣品的大范圍觀察。

SU3900日立大型掃描電鏡主要特點：

　　(1) 支持超大/超重樣品測試

　　可搭載的最 大樣品尺寸：“SU3800" 標配可搭載直徑200mm樣品的樣品倉，可應對最 大高度為80mm、重量為2kg的樣品。  “SU3900"作為日立高新技術的大型掃描電鏡，標配可搭載最 大直徑300mm樣品的樣品倉，可應對最 大高度為130mm、重量為5kg(比前代機型提高2.5倍^*2)的樣品

　　(2) 支持大視野觀察

　　■“SU3800"與“SU3900"的最 大觀察范圍分別是：直徑130mm、直徑200mm

　　■安裝有“SEM MAP"導航功能，只需在導航畫面上觀察目標位置，即可移動視野

　　■安裝有“Multi Zigzag"系統，可在不同的視野自動拍攝多張高倍率圖像，并將取得的圖像拼接在一起，生成大視野高像素圖像

　　(3) 通過自動化功能提高操作性能

　　■通過自動光路調整和各種自動化功能，樣品設置完后立即可以開始觀察。關于圖像調整，自動功能執行時的等待時間比前代機型^*4縮短了三分之一以下

　　■安裝有“Intelligent Filament  Technology(IFT)"軟件，自動監控鎢燈絲^*5的狀況，顯示預計的更換時期。在長時間的連續觀察和顆粒度解析等大視野分析時，也可避免長時間測試過程中因鎢燈絲使用壽命到期所造成的中斷觀察。