日立大型掃描電鏡

SU3800日立大型掃描電鏡特點：

1) 支持超大/超重樣品測試

　　可搭載的最 大樣品尺寸：“SU3800" 標配可搭載直徑200mm樣品的樣品倉，可應對最 大高度為80mm、重量為2kg的樣品。  “SU3900"作為日立高新技術的大型掃描電鏡，標配可搭載最 大直徑300mm樣品的樣品倉，可應對最 大高度為130mm、重量為5kg(比前代機型提高2.5倍^*2)的樣品

(2) 支持大視野觀察

　　“SU3800"與“SU3900"的最 大觀察范圍分別是：直徑130mm、直徑200mm

　　安裝有“SEM MAP"導航功能，只需在導航畫面上指觀察目標位置，即可移動視野

　　安裝有“Multi Zigzag"系統，可在不同的視野自動拍攝多張高倍率圖像，并將取得的圖像拼接在一起，生成大視野高像素圖像

(3) 通過自動化功能提高操作性能

　　通過自動光路調整和各種自動化功能，樣品設置完后立即可以開始觀察。關于圖像調整，自動功能執行時的等待時間比前代機型^*4縮短了三分之一以下

　　安裝有“Intelligent Filament  Technology(IFT)"軟件，自動監控鎢燈絲^*5的狀況，顯示預計的更換時期。在長時間的連續觀察和顆粒度解析等大視野分析時，也可避免長時間測試過程中因鎢燈絲使用壽命到期所造成的中斷觀察。