小型真空探針臺

腔體材質

304不銹鋼

上蓋開啟

鉸鏈側開

內腔體尺寸

φ140x180

加熱臺材質

304不銹鋼

觀察窗尺寸

φ75

加熱臺尺寸

50x50

加熱臺溫度

室溫-350℃可調

加熱臺溫控誤差

±1℃

真空度

機械泵≤10Pa   分子泵≤10-3Pa

真空抽氣口

KF25

氣體進氣口

3mm-6mm卡套接頭

進氣閥門

高精密針閥

抽氣閥門

KF25真空擋板閥

壓力表

機械壓力表 -0.1-0.15mpa

信號電極

4個

探針數量

4個

探針材質

φ1.5鎢針   其他材質可選

探針移動平臺

X軸移動行程

30mm    ±15mm

X軸控制精度

≤0.1MM

Y軸移動行程

13MM    ±6.5mm

Y軸控制精度

≤0.05MM

Z軸移動行程

13mm   ±6.5mm

Z軸控制精度

≤0.05MM

信號電極

電極芯

1芯

電極引出接頭

BNC母頭

電極引出線

銅網信號屏蔽線

BNC引出接頭

X4

額定電流

≤5A

額定電壓

≤220V

電極芯直徑

φ1mm

接觸電阻

≤5MΩ

絕緣電阻

≥1000 MΩ

外殼接地

是

電子顯微鏡

電子顯微鏡根據客戶需要配置不同倍率 請和客服溝通