目錄:深圳市中圖儀器股份有限公司>>輪廓儀>>光學(xué)3D輪廓儀>> SuperViewW1非接觸式3d光學(xué)輪廓儀
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更新時(shí)間：2026-03-13 09:26:03瀏覽次數(shù)：1956評(píng)價(jià)
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| 產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) | 電動(dòng)機(jī)功率 | 0.3kW |
|---|---|---|---|
| 適用范圍 | 三維形貌測(cè)量 | 外形尺寸 | 900×700×604㎜mm |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,能源,航空航天,綜合 | 重量 | 150kg |
中圖儀器非接觸式3d光學(xué)輪廓儀SuperViewW1能夠以優(yōu)于納米級(jí)的分辨率，測(cè)試各類表面并自動(dòng)聚焦測(cè)量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù)，廣泛應(yīng)用于光學(xué)，半導(dǎo)體，材料，精密機(jī)械等領(lǐng)域。是一款非接觸測(cè)量樣品表面形貌的光學(xué)測(cè)量?jī)x器。
它采用光學(xué)干涉技術(shù)、精密Z向掃描模塊和3D重建算法組成測(cè)量系統(tǒng)，通過(guò)系統(tǒng)軟件對(duì)器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測(cè)量。
結(jié)果組成：
1、三維表面結(jié)構(gòu)：粗糙度，波紋度，表面結(jié)構(gòu)，缺陷分析，晶粒分析等；
2、二維圖像分析：距離，半徑，斜坡，格子圖，輪廓線等；
3、表界面測(cè)量：透明表面形貌，薄膜厚度，透明薄膜下的表面；
4、薄膜和厚膜的臺(tái)階高度測(cè)量；
5、劃痕形貌，摩擦磨損深度、寬度和體積定量測(cè)量；
6、微電子表面分析和MEMS表征。
主要應(yīng)用領(lǐng)域：
1、用于太陽(yáng)能電池測(cè)量；
2、用于半導(dǎo)體晶圓測(cè)量；
3、用于鍍膜玻璃的平整度（Flatness)測(cè)量；
4、用于機(jī)械部件的計(jì)量；
5、用于塑料，金屬和其他復(fù)合型材料工件的測(cè)量。
SuperViewW1非接觸式3d光學(xué)輪廓儀非接觸高精密測(cè)量方式，不會(huì)劃傷甚至破壞工件，而且測(cè)量速度快，不必像探頭逐點(diǎn)進(jìn)行測(cè)量。對(duì)高深寬比的溝槽結(jié)構(gòu)，可以快速而準(zhǔn)確的得到理想的測(cè)量結(jié)果。
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