三線擺氣浮隔振平臺

• 高性能氣動減振器，共振頻率超低 1Hz

• 混合腔設(shè)計超大程度的提高了工作穩(wěn)定性與極低的固有頻率

• 支腿頂部配有安全連接件，大大提升安全性

• 微米級層流阻尼

• SMC 納米級高流量氣動執(zhí)行元件

• 三線擺設(shè)計超大程度的隔離振動并在受到干擾后實現(xiàn)高精度復(fù)位

• 頂部調(diào)節(jié)裝置可輕松完成 ±10mm 調(diào)節(jié)

• 固有頻率：垂直＜ 1.0-1.5Hz；

水平＜ 1.0-1.5Hz（同實際負(fù)載相關(guān)）垂直共振低至 1Hz

• 振幅：＜ 0.002

• 調(diào)節(jié)方式：自動定心

• 減振效率：垂直：5Hz 時：85-90％；10Hz 時：91-96％ 水平：5Hz 時：

87-92％；10Hz 時：92-97％

• 工作復(fù)位精度：±0.1mm

• 隔振方式 : 三線擺桿、混合腔結(jié)構(gòu)

• 阻尼方式：微米級層流阻尼

• 氣源：標(biāo)配靜音空氣壓縮機(jī)；噪音：52db