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賽默飛電子顯微鏡

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半導(dǎo)體計(jì)量透射電鏡 Metrios AX TEM

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品牌 FEI/賽默飛
型號(hào)
廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
所在地 上海市

屬性

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價(jià)格區(qū)間	面議	儀器種類	熱場(chǎng)發(fā)射
應(yīng)用領(lǐng)域	環(huán)保,化工

半導(dǎo)體計(jì)量透射電鏡 Metrios AX TEM
全新設(shè)計(jì)，提供可重復(fù)的基于 TEM 和 STEM 的成像、分析和具備計(jì)量能力的計(jì)量器。

詳細(xì)介紹

半導(dǎo)體計(jì)量透射電鏡 Metrios AX TEM

用于半導(dǎo)體計(jì)量和工藝表征的高生產(chǎn)率透射電子顯微鏡

半導(dǎo)體計(jì)量透射電鏡 Metrios AX TEM主要特點(diǎn)

一致、可重復(fù)、精確

全新設(shè)計(jì)，提供可重復(fù)的基于 TEM 和 STEM 的成像、分析和具備計(jì)量能力的計(jì)量器。

計(jì)量準(zhǔn)確度

TEM 和 STEM 失真和放大率校正的組合誤差小于 0.75%。

自動(dòng)化 EDS 和混合計(jì)量

通過(guò)自動(dòng)化獲取和量化 EDS 數(shù)據(jù)。使用關(guān)鍵尺寸元件對(duì)比度來(lái)擴(kuò)展 STEM。

工作流程連通性

通過(guò)樣品制備、提取和成像跟蹤關(guān)鍵工藝數(shù)據(jù)。計(jì)量可離線應(yīng)用，從而極大增加工具采集時(shí)間。所有成像和計(jì)量數(shù)據(jù)均整合在基于網(wǎng)絡(luò)的圖像查看器中。

規(guī)格

高壓范圍 (kV)	60-200 kV
信息限度 200 kV (nm)	0.11
	未校正	探頭校正*
STEM HAADF 分辨率 (nm) 200 kV	≤ 0.164	≤ 0.083
STEM HAADF 分辨率 (nm) 80 kV	≤ 0.31	≤ 0.11
用于水平和垂直的 MetroCal 晶片的計(jì)量精密度	≤ 0.3 nm 3σ
電子源	X-CFEG 或 XFEG
超穩(wěn)定電子設(shè)備和高壓	包含
隔音罩	包含
恒定功率透鏡	包含
壓電載物臺(tái)	包含
探頭校正器兼容	是

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