半導體行業真空室內被處理物體的溫度如何檢測？

通過窗口測量真空層或容器內的物體。

選型要點

所選機型

• 在惡劣環境和狹小空間也能自由使用的1ms光纖型
  半階型

  

  光纖式輻射溫度計FTKX系列

  測量溫度范圍：100°C至2000°C

• 纖維型（耐熱磁場）

• 高溫

• 用于通過石英

• 0.1ms/1ms快速響應

• 用于金屬

• 1ms 輻射溫度計，規格可根據測量對象改變

  

  無纖維輻射溫度計 FLHX 系列

  測量溫度范圍：90°C 至 2000°C

• 高溫

• 用于通過石英

• 0.1ms/1ms快速響應

• 用于金屬

• 金屬的高速測溫

  

  金屬用輻射溫度計
  TMHX-TME0050(H)系列

  測量溫度范圍：50°C至600°C

• 用于金屬

• 低溫

• 用于通過石英

• 金屬的高速測溫

  

  金屬用輻射溫度計
  TMHX-TME0050(E)系列
  小頭型

  測量溫度范圍：50°C至600°C

• 用于金屬

• 低溫

• 用于通過石英

• 甚至可以透過石英玻璃！

  

  穿透式石英輻射溫度計
  TMHX-CQE0500(H)系列
  小點型

  測量溫度范圍：50°C 至 500°C

• 用于通過石英

• 低溫

• 甚至可以透過石英玻璃！

  

  穿透式石英輻射溫度計
  TMHX-CQE0500(E)系列
  小頭型

  測量溫度范圍：50°C 至 500°C

• 用于通過石英

• 低溫