光學元件上微小異物的測定 –采用紅外顯微鏡AIM-9000 進行掃描和識別

隨著電氣電子設備的小型化和多功能化，儀器的零部件也不斷微型化，因此超小型高性能的半導體零部件和傳感器等光學元件被廣泛應用。在微型化設備和零部件中，微米級的微小異物可能會導致儀器發生運行故障。因此為了防止此類問題的發生，查明異物來源極其重要。 島津公司的異物自動分析系統（紅外顯微鏡）AIM-9000 采用將微小部分作為測定目標的光學設計，可以在短時間內獲得微米級異物的清晰光譜。本文向您介紹使用本系統對光學元件表面附著的約10 μm 微小異物進行測定的示例

光學元件上的微小異物

圖1 為電子設備配置的光學元件零部件表面附著異物的顯微鏡照片。由圖可知，異物在數μm～10 μm 左右，分布在元件表面

測定 ：

因為該異物所在的零部件表面為平滑且有光澤的金屬，所以無需提取異物，適合不易發生破壞和丟失的反射法進行測定。 圖2 為使用紅外顯微鏡、采用該方法測定得到的異物紅外光譜及其檢索結果；表1 為測定條件。由此可知，對10 μm 左右的微小異物，可在20 秒左右的短時間內得到干擾較少的光譜。再利用儀器標準配置的光譜庫進行分析，可以判斷異物為乳酸鹽

異物自動分析系統（紅外顯微鏡）AIM-9000 采用以極微小部分為測定目標的光學設計，實現了高級別的信噪比（S/N 比）30,000：1。對極微小的異物，也可在短時間內得到優質的光譜。下文將以分布在氟化鋇窗片上的φ10 μm 聚苯乙烯珠粒的測定結果為示例進行介紹。圖3 為聚苯乙烯珠粒的顯微鏡照片。分別使用AIM-9000 和島津公司傳統機型，采用透射法針對聚苯乙烯珠粒進行測定。圖4 為比較結果；表2 為測定條件；圖5 為與紅外分光光度計IRTracer-100 連接的AIM-9000 外觀照片。

總結

總結：綜上所述，異物自動分析系統（紅外顯微鏡）AIM-9000 是對光學元件表面附著的約10 μm 的微小異物進行測定和識別的選擇。