如何選配Ixion-193-SLM深紫外窄線寬全固態(tài)激光器？

德國Xiton 公司的Ixion-193-SLM激光器的特點：

- 使用超級簡便：用戶只需在圖形化的軟件界面上即可完成操作

- 可適應(yīng)7天24小時工業(yè)化應(yīng)用

- 窄線寬，長相干長度

- 標(biāo)準(zhǔn)輸出193.368nm，下單前可提前定制190-195nm范圍間任意波長值。

- 波長在10pm(80GHz)范圍內(nèi)可調(diào)諧

- 可增配內(nèi)置波長計監(jiān)測波長調(diào)諧的絕*值

產(chǎn)品規(guī)格

那么建議用戶如何選配和下單呢？

下單前可提前定制190-195nm范圍間任意波長值是如何實現(xiàn)的：

Ixion-193-SLM深紫外窄線寬全固態(tài)激光器是基于兩臺單頻種子激光做倍頻與和頻處理后獲得，我們列舉一些簡單運算：

1064nm一號種子激光五倍頻到213nm；再和二號1760nm種子激光和頻,即可得到單頻的190nm激光

1064nm一號種子激光五倍頻到213nm；再和二號2308nm種子激光和頻,即可得到單頻的195nm激光

需要說明的是，二號1760nm種子激光和二號2308nm種子激光不是同一臺激光，對于用戶而言，下單前可提前定制190-195nm范圍間任意波長值(可精確到小數(shù)點后第三位）；廠家接單后即可選擇一號與二號種子激光的波長組合，達(dá)成客戶指定的指標(biāo)，下單即意味著確定一個固定的中心波長了。

我們以訂購量多的ArF準(zhǔn)分子激光特征譜線193.368nm波長來舉例說明：  

1064nm波段我們定義為種子激光一號，比如這臺激光我們把它穩(wěn)頻到1064.4nm波長，后面組建5倍頻光路，獲得5倍頻輸出為212.88nm；

我們再選擇一臺2100nm波段的種子激光二號，并將其調(diào)諧穩(wěn)頻到2109.7nm,與剛才的5倍頻輸出的212.88nm組建和頻光路，即可獲得193.3681nm單頻輸出。

如果1064nm種子激光一號的中心波長稍有變化，相應(yīng)改變種子激光二號的波長仍可達(dá)成193.368nm單頻激光輸出的目標(biāo)。

到貨后Ixion-193-SLM激光器80GHz（10pm）的波長可調(diào)諧是如何實現(xiàn)的：

從機理來說，調(diào)諧1064nm一號種子激光或2100nm二號種子激光均可能達(dá)成最終193.368nm激光在10pm(即80GHz）范圍內(nèi)波長可調(diào)；但合理的選擇是調(diào)諧2100nm二號種子激光。

原因很簡單，舉例來說，如果調(diào)諧了1064nm一號種子激光10GHz，就意味著五倍頻213nm輸出的50GHz的變化，首先很容易喪失穩(wěn)頻狀態(tài)而需要重新穩(wěn)頻；其次1064nm基頻調(diào)諧后意味著二倍頻到三倍頻到五倍頻的聯(lián)動調(diào)諧，耗時更長且配合復(fù)雜。

所以*合理的方法是調(diào)諧2100nm二號種子激光的波長后，與保持不變的1064nm波段一號種子激光五倍頻后的213nm激光和頻，達(dá)到最終193.368nm單頻激光輸出10pm(即80GHz）范圍內(nèi)波長可調(diào)的目的。

增配選項Option 4-LP可為用戶拓展波長可調(diào)諧范圍到70pm(即560GHz)：

如果用戶認(rèn)為標(biāo)準(zhǔn)系統(tǒng)的10pm（80GHz）波長調(diào)諧范圍不夠，客戶可增配選項Option 4-LP可為用戶拓展波長可調(diào)諧范圍到70pm(即560GHz)。實際上是廠家出廠前提前校準(zhǔn)了四組種子激光一號與種子激光二號的工作參數(shù)，此后用戶就可以調(diào)用四組參數(shù)，分別可達(dá)成4段范圍的波長調(diào)諧，以擴展波長調(diào)諧范圍。大致工作模式是先調(diào)用參數(shù)，調(diào)諧種子激光一號到一個新的波長，重新溫度相位匹配二到五倍頻，調(diào)諧種子激光二號再和頻達(dá)成新波段調(diào)諧。對于193.368nm標(biāo)注型號10pm可調(diào)諧范圍產(chǎn)品而言，增購了Option 4-LP選項大致可在193.330nm到193.400nm范圍內(nèi)70pm可調(diào)諧。

增配選項Option WL-Scan可為用戶拓展波長掃描功能：

我們把Xiton公司的xLASER激光控制軟件右上部分放大給您看，這個角落就是WL-Scan波長掃描參數(shù)控制欄，您可以設(shè)置波長調(diào)諧的起始和終了位置，波長掃描步長（最小10fm)和間隔時間。

需要說明的是Ixion-193-SLM所有相位匹配（從倍頻到五倍頻，以及*后一級的和頻）均采用溫度匹配方式。溫度匹配的突出優(yōu)點是穩(wěn)定，但相對的缺點是耗時較長。您大致可以按溫度匹配需要2秒時間預(yù)估，也就是說WL-Scan波長掃描每一步均需要2秒以上的時間。

增配內(nèi)置波長計選項Option Wavemeter：

我們?nèi)匀挥肐xion-193-SLM出貨量*大的193.368nm最終輸出波長為例：用戶增配的內(nèi)置波長計選項Option Wavemeter實際上是在激光器內(nèi)部增加了兩臺激光波長計，同時檢測一號種子激光（1um seeder)和二號種子激光（2um seeder)，并根據(jù)以上兩個實測值換算出激光器最終輸出值;見本實例圖。實測到當(dāng)下一號種子激光（1um seeder）的輸出為1064.430421nm，也就是說5倍頻后的輸出為212.886084nm；此5倍頻輸出與二號種子激光（2um seeder)2109.089276nm和頻，運算結(jié)果即為最終輸出值193.368011nm。

小結(jié)如下，從設(shè)備選型上看： 

 Ixion-193-SLM設(shè)備內(nèi)部選型主要考量在平均功率與光譜線寬上做權(quán)衡。

增配內(nèi)置波長計選項Option Wavemeter一般是首先考慮的選項，可以實時測量當(dāng)前激光輸出波長值。Xiton公司在激光器出廠時標(biāo)定激光器輸出波長準(zhǔn)確度到1pm，舉例193.368nm；隨著激光器的長時間工作，波長會逐漸有微小的漂移，長期漂移量約5-10pm；如果沒有內(nèi)置波長計選項Option Wavemeter，用戶無法知道當(dāng)前具體漂移了多少。

再根據(jù)需要考慮是否增加波長掃描Option WL-Scan選項和擴展掃描波段Option 4-LP選項

先鋒科技作為 Xiton Photonics 中國區(qū)核心合作伙伴與授*服務(wù)商，重磅引入并提供 Xiton 深紫外納秒固體激光器等多款旗艦產(chǎn)品的銷售、技術(shù)支持與一體化解決方案，助力國內(nèi)科研院所、半導(dǎo)體及精密檢測行業(yè)發(fā)展，讓國內(nèi)客戶同步享有德國原廠的激光技術(shù)與高品質(zhì)保障。