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MSC-200T-D 針筒式旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)
- 公司名稱(chēng) 合肥重光電子科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào) MSC-200T-D
- 產(chǎn)地
- 廠(chǎng)商性質(zhì) 生產(chǎn)廠(chǎng)家
- 更新時(shí)間 2026/3/7 15:37:47
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針筒式旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)應(yīng)用程序：
人工放置基板->啟動(dòng)真空吸附->基板吸附于轉(zhuǎn)盤(pán)上 ->自動(dòng)滴膠->旋轉(zhuǎn)開(kāi)啟->低轉(zhuǎn)速->中 轉(zhuǎn)速->高轉(zhuǎn)速->旋轉(zhuǎn)停止->去邊->破真空->人工取件。
針筒式旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)產(chǎn)品特點(diǎn)：
針筒式滴膠方式更適合科研和小批量生產(chǎn)，不用清洗管道；
整機(jī)用料扎實(shí)、750W進(jìn)口伺服電機(jī)、適合更大更重樣品；
吸盤(pán)平整度精細(xì)加工平磨，均勻性好，可達(dá)1%以?xún)?nèi)；
電氣獨(dú)立集成機(jī)身側(cè)面，避免因腔體漏液到設(shè)備內(nèi)部導(dǎo)致短路風(fēng)險(xiǎn)；
配置光膠過(guò)濾器，清洗保養(yǎng)方便，避免堵膠帶來(lái)飛片風(fēng)險(xiǎn)；
真空負(fù)壓數(shù)值顯示和低真空?qǐng)?bào)警，避免因負(fù)壓不足帶來(lái)飛片風(fēng)險(xiǎn)。
安全措施：
功能 | 規(guī)格 |
真空檢知 | 面版上有數(shù)位顯示計(jì)，低壓報(bào)警 |
蓋子檢測(cè) | 運(yùn)行中開(kāi)蓋報(bào)警 |
防吸入光阻裝置 | 加裝于真空PUMP之前,預(yù)防光阻液吸入需定期清潔保養(yǎng) |
電控箱 | 位置放在側(cè)面，防止漏液帶來(lái)短路風(fēng)險(xiǎn) |
產(chǎn)品參數(shù)：
桌上型半自動(dòng)旋轉(zhuǎn)涂布機(jī) | 供電電壓 | AC220V,50Hz | 操作方式 | 7寸觸控屏 |
轉(zhuǎn)速 | 20~10000rpm | 滴膠方式 | 手動(dòng)滴膠/自動(dòng) | |
加速度 | 350~10000rpm/s | 編程 | 可編程50組20步 | |
減速度 | 350~10000rpm/s | 均勻性 | 1% | |
轉(zhuǎn)速分辨率 | 1rpm | 抽氣接口 | Φ6mm快擰接口 | |
單步時(shí)間 | 3000s | 整機(jī)尺寸 | 650mm×500mm×550mm | |
基片尺寸 | 直徑≤8英寸(200mm) | 整機(jī)重量 | 55kg | |
腔體材質(zhì) | PTFE | 光刻膠容器 | 膠泵、壓力罐、美式針筒 | |
滴膠管路 | ≤3路（背洗、去邊可選） | 核心配件品牌 | SMC、CKD、松下、西門(mén)子、小金井等 | |
排氣系統(tǒng) | 真空泵 | 干式機(jī)械泵 | ||
抽氣速率 | 50L/min | |||
供電電源 | AC220V 50/60Hz | |||
可提供12寸晶圓（均勻性＜2%）、方片、膠泵滴膠、壓力罐滴膠等多種滴膠方式，以滿(mǎn)足不同產(chǎn)量要求，更多需求可咨詢(xún)。
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