德國suss as8勻膠機HP8熱板 介紹

德國suss as8勻膠機HP8熱板
德國suss as8勻膠機HP8熱板
負責人：吳經理     132.4667.5433

簡介：

AS8手動噴霧涂膠機：

適用于崎嶇表面的手動噴霧涂膠機

AS8涂膠機可以滿足實驗室和試產環境下常用工藝的需要，對于起伏臺階幾微米到600微米以上的三維微結構加工，都是理想的工具。SUSS AS8涂膠機也可用于生產環境。

亮點：

頂部邊緣覆蓋的保形涂膠，且能避免溝槽中堆

獨特噴霧設計，可實現工藝穩定性與重復性的優化

跨越大起伏形貌的圖案化賦能技術膠

基板尺寸直徑為200 mm，方形基板邊長為 6

最多可有2個獨立的噴霧噴膠系統，以避免交叉污染

帶有MMC控制器軟件的觸摸屏

全部工藝參數可在工藝菜單中編程

詳細情況 : 涂膠

在噴涂法中，噴嘴將要涂抹的溶液噴在晶圓上。 經過優化后的晶圓上方噴嘴移動路徑可以實現在襯底上均勻的涂層。 噴涂所用的液體通常粘度極低，以確保形成細小的液滴。

噴涂法即使在凹凸圖形上也能形成均勻涂層，因此它是這種結構的方法。 噴涂法還能噴涂方形的襯底。

HP8 手動鍍膜熱板

介紹：用于手動涂層解決方案的 HP8 熱板專為要求苛刻的研發應用而開發，集精確性、靈活性和安全性于一體。通過不同的配置 選項和與實驗室設置的無縫集成，該系統可為要求的研發過程提供可重復的結果

HP8 手動熱板的主要特點：

【快速加熱】

快速加熱和均勻的溫度分布：成熟的線圈加熱技術可確保每次加工都非常穩定。

【直觀的操作】

直觀的觸摸屏界面使設置和監控變得輕松自如，確保任何用戶都能輕松執行流程。

【智能供暖自動化】

一次編程，無需手動調整即可運行：使用專用的觸摸面板控制器，根據您的個性化工藝要求生成精確的溫度曲線。

適應您的日常實驗室需求

從快速原型制作到復雜的多步驟顯影液開發，HP8 都能滿足您的確切要求。憑借個性化的編程能力和精密的工程設計，它可以處理簡單的涂層任務和復雜的研究方案。

溫度： 120°C-250 °C

精度：±0.5 °C、精度為 ±1

德國SUSS MicroTec主要產品：

一、旋轉涂膠機和噴霧涂膠機：

自動涂膠機與顯影機：ACS300 Gen3、ACS300 Gen2、ACS200 Gen3、ACS200 Gen3TE

半自動涂膠與顯影機：RCD8、ECD8、HP8熱板

手動涂膠機與顯影機：LabSpin6 / LabSpin8

二、噴墨打印機

JETxSM24噴墨打印機、JETx噴墨打印機、LP50打印機

三、光刻機、掩模對準機

全自動：MA300 Gen3、MA200 Gen3、MA100/150e Gen2

半自動：MA12 Gen3、MA8 Gen5、MA/BA Gen4 Series

手動：MJB4

四、測量系統

全自動:DSM8/200 Gen2

五、晶圓結合系統、自動貼片機

全自動：XBC300 Gen2 D2W/W2W、XBC300 Gen2、XBS300、XBS300W2W、XBS200

半自動： BA Gen4 Serie、DB12T、LD12、SB6/8Gen2、XB8

六、光掩模設備

全自動：MaskTrack Pro系列、ASx Serie

半自動：HMx Serie

七、投影掃描光刻機

全自動：DSC300 Gen3