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    化工儀器網>產品展廳>半導體行業專用儀器>光刻及涂膠顯影設備>勻膠機>MSC-75T 桌上型旋轉涂布機

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    MSC-75T 桌上型旋轉涂布機

    具體成交價以合同協議為準

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         ?合肥重光電子科技有限公司是一家專業從事儀器設備的生產商。針對國家大力扶持的太陽能電池和半導體等科技領域。

            我司有專業的檢測儀器和工藝實驗設備,能夠滿足不同客戶的打樣和定制化需求。同時我司與中國科學技術大學微納加工平臺、合肥工業大學微納加工平臺保持技術上的交流,能有效幫助客戶解決工藝問題。

            我司提供產品的定制化代工業務,滿足客戶對自營品牌的需求,讓客戶從而實現資產輕量化運營。

            ??我司產品優勢:提供定制化服務,滿足客戶多樣化需求,從而為客戶節約更多科研經費。其中低速勻膠平穩,結束低粘度光阻勻膠依賴進口品牌。






    勻膠、熱板、顯影、等離子、光刻設備


    桌上型旋轉涂布機產品概述

       MSC-75T可編程勻膠機采用分體式結構設計,外殼為金屬噴涂,白色美觀。PP耐腐蝕內腔,4.3英寸觸摸屏,工業級直流電機及高級PLC控制,直觀清晰的程序界面與設計,美觀大方。適合涂膠處理? 5~100mm圓晶尺寸基片
      該勻膠機結構緊湊、簡單易用,可編程實現單步旋涂和多步編程旋涂,尺寸小巧,可放入手套箱內操作。PP材料旋涂內腔,可直接取下來,方便清洗。


    桌上型旋轉涂布機性能參數:

    適用晶元尺寸范圍:? 5~100mm;

    旋涂速度:100~10000rpm;

    轉速分辨率:1rpm;

    旋涂加速度:100-10000rpm/s;

    最大旋涂時間:3000s;

    旋涂時間精度:0.1s;

    勻膠機均勻性:≤±3%

    內腔直徑150mm,內腔采用凹面防濺設計;

    操作界面:4.3寸觸摸屏

    語言選擇:可選擇中英文

    電機功率:100W直流無刷電機

    具備單步快速旋涂和多步編程旋涂,可編程10組程序,每組程序5步;

    電源輸入:AC200-230

    產品外型尺寸:290mm(W)x 235mm(D) x 185mm(H)

    重量:10KG

    附件:

    標配吸盤:10mm、25mm、2英寸。其它吸盤可定制

    真空泵:一臺

    一次性內襯:一只

    國標電源線:一根(可選歐標、英標、美標等方便出口)

    包裝:木箱


    產品特點:

    設計緊湊,可輕松放置在手套箱內使用;

    PP材料旋涂內腔,耐腐蝕;

    采用分體式結構,易清潔和移動;

    4.3英寸彩色觸屏控制,易學易用;

    精確設置實驗參數,運行狀態實時顯示;

    經CNC一體加工成型的PP內腔,內腔壁采用凹面設計,有效防濺;

    采用高級PLC程序控制,可編程,實現快速旋涂和多步編程旋涂;

    具有電機進膠保護功能;管路易疏通設計;


    保修:

    所有機臺上新增或修改部分,其保固年限于采購合約中明定規范,需一年。

    本設備、零件保固期為自驗收日起算12個月內或交機后15個月內。


    支持分體式設計,支持擴展自動滴膠系統,更多需求可聯系詳細溝通。








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