微型探針冷熱臺

HCP421V-PM微型探針冷熱臺可單獨使用，也可搭配顯微鏡/光譜儀使用。其可在-190℃~400℃范圍內控溫，同時允許探針電測試、光學觀察和樣品氣體環境控制。探針臺上蓋與底殼構成一個可抽真空的密封腔，亦可內充入氮氣等保護氣體，來防止樣品在負溫下結霜，或高溫下氧化。

微型探針冷熱臺功能特點：

迷你溫控探針臺，可用于顯微鏡/光譜儀

-190℃~400℃可編程控溫（負溫需配液氮制冷系統）

φ26 mm加熱區

可抽真空的腔體，亦可充入保護氣體使用

SMA接頭轉BNC四探針，手動點針

*可選六探針*可選三同軸接口，用于pA的級測試

溫控參數：

溫度范圍-190℃~400℃（負溫需配液氮制冷系統）

傳感器/溫控方式100Ω鉑RTD/PID控制（含LVDC降噪電源）

最大加熱/制冷速度30℃/min

最小加熱/制冷速度±0.01℃/min

溫度分辨率0.01℃

溫度穩定性±0.05℃（>25℃），±0.1℃（<25℃）

軟件功能可設溫控速率，可設溫控程序，可記錄溫控曲線

電學參數：

探針默認為錸鎢材質的彎針探針*可選其他種類探針

探針座杠桿式探針支架，點針力度更大，電接觸性更好

點針手動點針，每個探針座都可點到樣品區上任意位置

探針接口默認為SMA接頭轉BNC

*可增設腔內接線柱（樣品接電引線）

樣品臺面電位默認為電接地，可選電懸空（作背電極），可選三同軸接口

非磁性改造臺體可改用非磁性材質制造，用于變溫霍爾效應探針測試

光學參數：

適用光路反射光路*另有透射光路型號

窗片可拆卸與更替的窗片

最小物鏡工作距離8 mm*截面圖中WD

透光孔臺面默認無通光孔，可增設通光孔以支持透射光路

上蓋窗片觀察窗片范圍φ18mm，最大視角±45°*截面圖中θ1

負溫下窗片除霜吹氣除霜管路

結構參數：

加熱區/樣品區φ26 mm

樣品腔高5.8 mm*樣品最大厚度由探針決定

放樣打開上蓋后置入樣品再點針，關上蓋后無法移動探針

氣氛控制可抽真空的腔體，亦可充入保護氣體使用

外殼冷卻可通循環水，以維持外殼溫度在常溫附近

安裝方式水平安裝或垂直安裝

臺體尺寸/重量180 mm x 130 mm x 27 mm/1600g

配置列表：

基本配置HCP421V-PM溫控探針臺、mK2000B溫控器、外殼循環水冷系統

可選配件安裝支架、測試源表、真空系統、三同軸BNC接口、臺面電懸空、樣品接電引線