化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器>光刻及涂膠顯影設(shè)備>無(wú)掩模光刻機(jī)/直寫光刻機(jī)> MDA-20FA全自動(dòng)光刻機(jī)
MDA-20FA全自動(dòng)光刻機(jī)
- 公司名稱 科睿設(shè)備有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2025/12/4 13:13:51
- 訪問(wèn)次數(shù) 109
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光刻機(jī),鍍膜機(jī),磁控濺射鍍膜儀,電子束蒸發(fā)鍍膜儀,開(kāi)爾文探針系統(tǒng)(功函數(shù)測(cè)量),氣溶膠設(shè)備,氣溶膠粒徑譜儀,等離子增強(qiáng)氣相沉積系統(tǒng)(PECVD),原子層沉積系統(tǒng)(ALD),快速退火爐,氣溶膠發(fā)生器,稀釋器,濾料測(cè)試系統(tǒng)
MIDAS SYSTEM公司開(kāi)發(fā)并生產(chǎn)用于半導(dǎo)體、MEMS、LED及納米技術(shù)相關(guān)的實(shí)驗(yàn)室和工業(yè)領(lǐng)域的光罩對(duì)準(zhǔn)曝光機(jī)和甩膠機(jī),是韓國(guó)第1家研發(fā)并商業(yè)化光罩對(duì)準(zhǔn)曝光機(jī)的企業(yè),始終致力于不斷完善、增強(qiáng)技術(shù)型企業(yè)的核心競(jìng)爭(zhēng)力。
MIDAS SYSTEM公司具有專業(yè)化的設(shè)計(jì)團(tuán)隊(duì),以客戶需要為己任,生產(chǎn)、供應(yīng)滿足國(guó)內(nèi)外企業(yè)、科研院所不斷增長(zhǎng)的應(yīng)用需求,并且提供半導(dǎo)體工藝相關(guān)的設(shè)備需要。
MDA-20FA全自動(dòng)光刻機(jī)是一款MIDAS公司新開(kāi)發(fā)的產(chǎn)品,代表了下一代全區(qū)域光刻系統(tǒng)。這一新型半自動(dòng)化對(duì)準(zhǔn)曝光平臺(tái)具有更高的重復(fù)光刻精度以及更可靠的操作,非常適合陶瓷及其他探針卡應(yīng)用,同時(shí)MDA-12SA型半動(dòng)化光罩對(duì)準(zhǔn)曝光機(jī)具有更高的生產(chǎn)能力和容易操控。
MDA-20FA
操作簡(jiǎn)單,PLC操作,PC控制,圖像采集和數(shù)據(jù)記錄,100多個(gè)程序配方,顯微鏡位置控制系統(tǒng),自動(dòng)對(duì)齊標(biāo)記搜索功能
MDA-20FA全自動(dòng)光刻機(jī)
類型:全自動(dòng)
掩模版尺寸:大尺寸訂制
基板尺寸:大尺寸訂制
均勻光束尺寸:大尺寸訂制
紫外線光源:紫外線燈,2KW,5KW
光束波長(zhǎng):350~450nm
光束均勻度 <±5%
365 nm強(qiáng)度 2千瓦:~25毫瓦/?5千瓦:~45毫瓦/?
對(duì)齊方式:全自動(dòng)
對(duì)準(zhǔn)精度:1 um
加工方式:軟、硬、真空接觸、接近
過(guò)程分辨率:透鏡:>3 um,反射鏡:>9 um



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