SC-12 等離子去膠機(jī)
- 公司名稱 江蘇容道社半導(dǎo)體設(shè)備科技有限公司
- 品牌 容道社
- 型號(hào) SC-12
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2026/3/26 16:02:15
- 訪問次數(shù) 29
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勻膠機(jī)，烤膠機(jī)，控溫涂膜機(jī)，等離子清洗機(jī)，濕法刻蝕機(jī)，濕法清洗機(jī)，金屬剝離去膠機(jī)，I/G/H線光刻機(jī)，勻膠顯影一體機(jī)，噴膠機(jī)
| SC-12 等離子去膠機(jī)參數(shù) | |
| 可處理基片尺寸 | ≤300mm |
| 轉(zhuǎn)速范圍 | 20-5000rpm |
| 轉(zhuǎn)速分辨率 | 1rpm |
| 加速度可調(diào)范圍 | 20-10000rpm/s |
| 單步時(shí)長 | ≤3000s |
| 均勻性數(shù)據(jù) | |
| 4寸晶圓 片內(nèi)： ±0.58% 片間： ±0.20% 膜厚： 1470nm 膠液： AZ1500(20CP) | |
| 6寸晶圓 片內(nèi)： ±0.72% 片間： ±0.89% 膜厚： 1320nm 膠液： AZ1500(20CP) | |
| 8寸晶圓 片內(nèi)： ±0.60% 片間： ± 1.32% 膜厚： 2260nm 膠液： AZ1500(20CP) | |
| 12寸晶圓 片內(nèi)： ± 1.10% 片間： ±0.68% 膜厚： 490nm 膠液： AZ1500(4.4CP) | |
| 可編程100組100步程序,更多可擴(kuò)展 | |
| 四路自動(dòng)點(diǎn)膠端口,可升級(jí)多路自動(dòng)點(diǎn)膠功能 | |
| 標(biāo)配10mm 、25mm 、2英寸三種直徑規(guī)格真空載物盤， 按需定制載物盤 | |
SC-12 等離子去膠機(jī)說明
● 鏡面不銹鋼外殼，鍍特氟龍內(nèi)腔
● 工業(yè)級(jí)設(shè)計(jì)，PLC控制、7寸全彩觸屏操作
● 高級(jí)伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)，高精度、高重復(fù)性
● 可添加背部清洗和去邊膠功能，滿足工業(yè)用途
● 可添加防濺罩式清洗和顯影功能，滿足定制需要
● 增加真空調(diào)壓和真空數(shù)顯功能,可直觀顯示當(dāng)前真空數(shù)顯值
● 更大尺寸和重型底物以及內(nèi)腔抽真空等要求均可定制
● 外形尺寸：710mm（W）*600mm（D）*268mm（H）
江蘇容道社半導(dǎo)體設(shè)備科技有限公司總部位于江蘇蘇州吳江汾湖高新區(qū)BGT園區(qū)內(nèi)，占地面積5000 平米；擁有專業(yè)的黃光生產(chǎn)實(shí)驗(yàn)區(qū)以及半導(dǎo)體設(shè)備生產(chǎn)組裝及測試車間；擁有一支能與時(shí)俱進(jìn)、緊跟行業(yè)技術(shù)發(fā)展并能不斷創(chuàng)新的技術(shù)與產(chǎn)品研發(fā)團(tuán)隊(duì)；容道社已形成自主可控的I線、G線、H線光刻機(jī)、勻膠機(jī)、顯影機(jī)、勻膠顯影一體機(jī)、金屬剝離去膠機(jī)、濕法刻蝕機(jī)、濕法清洗機(jī)等冷熱處理與客制化需求等設(shè)備產(chǎn)品系列與獨(dú)立模塊產(chǎn)品，可適應(yīng)不同工藝等級(jí)的客戶要求；容道社自主產(chǎn)品已通過客戶現(xiàn)場驗(yàn)證實(shí)現(xiàn)晶圓上料、工藝傳送、勻膠、光刻、顯影、金屬剝離去膠、刻蝕，清洗等一系列生產(chǎn)工藝鏈條流程化實(shí)現(xiàn)缺陷聯(lián)防達(dá)到工廠自動(dòng)化、信息化、智能化。
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