產(chǎn)品展示

瑞士VAT高真空蝶形控制閥61332-KEAF-0001

公司名稱：
更新時間：
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生產(chǎn)地址：
瀏覽次數(shù)：

上海茂碩機械設(shè)備有限公司
2026-03-01 19:45:42
上海市
德國
1907

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

【簡單介紹】

應(yīng)用領(lǐng)域	化工,能源,汽車及零部件,電氣,綜合

瑞士VAT高真空蝶形控制閥61332-KEAF-0001
產(chǎn)品基本信息
型號：61332-KEAF-0001

品牌：VAT Group（瑞士，真空閥領(lǐng)域）

類型：高真空蝶形控制閥（氣動驅(qū)動，金屬密封）

【詳細說明】

瑞士VAT高真空蝶形控制閥61332-KEAF-0001

1. 核心參數(shù)概覽

參數(shù)類別	詳細規(guī)格
型號	61332-KEAF-0001
類型	氣動驅(qū)動高真空蝶形控制閥（金屬密封）
真空范圍	工作壓力：10?? mbar 至大氣壓（兼容超高真空/XHV）
漏率	<1×10?? mbar·l/s（金屬密封版）
溫度范圍	-20°C 至 +150°C（標(biāo)準(zhǔn)）/ 可選高溫版至 +250°C（金屬密封）
閥體材質(zhì)	316L不銹鋼（電解拋光，表面粗糙度 Ra ≤ 0.8 μm）
密封材質(zhì)	標(biāo)準(zhǔn)：全金屬密封（無彈性體）可選：氟橡膠（FKM，適用于非等離子體環(huán)境）
驅(qū)動方式	氣動執(zhí)行（單作用彈簧復(fù)位/雙作用）響應(yīng)時間：<100 ms（全開至全關(guān)）
法蘭標(biāo)準(zhǔn)	ISO-KF、CF 或定制法蘭（SEMI標(biāo)準(zhǔn)兼容）
控制信號	可選：4-20mA模擬量反饋、數(shù)字信號（RS485）

2. 機械與結(jié)構(gòu)設(shè)計

閥體與密封系統(tǒng)

蝶板設(shè)計：

采用低慣量鈦合金蝶板，減少顆粒生成，適合潔凈環(huán)境（符合SEMI F47標(biāo)準(zhǔn)）。
動態(tài)平衡結(jié)構(gòu)，降低氣流擾動對晶圓工藝的影響。

密封技術(shù)：

金屬密封：金包覆不銹鋼密封圈，耐高溫烘烤（≤150°C持續(xù)），抗等離子體腐蝕。
彈性體密封（可選）：FKM材質(zhì)，適用于非腐蝕性氣體環(huán)境（漏率略高，約10?? mbar·l/s）。

執(zhí)行機構(gòu)

氣動模塊：

標(biāo)配氣壓范圍：4-6 bar（干燥空氣或氮氣驅(qū)動）。
可選防爆設(shè)計（ATEX認證）。

位置反饋：

高精度電位器或霍爾傳感器，實時監(jiān)控閥門開度（精度±0.5%）。

3. 性能曲線與關(guān)鍵指標(biāo)

流量特性

Cv值：0.8（全開時，介質(zhì)為空氣）。
流量調(diào)節(jié)比：100:1（線性控制區(qū)間）。

真空保持能力

真空級別	漏率要求	61332-KEAF-0001實測數(shù)據(jù)
高真空（HV）	<10?? mbar·l/s	<5×10?? mbar·l/s
超高真空（XHV）	<10?? mbar·l/s	<1×10?? mbar·l/s（金屬密封）

4. 半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用詳解

典型設(shè)備集成

工藝設(shè)備	功能角色	配套型號要求
刻蝕機（Etch）	腐蝕性氣體隔離（Cl?/HBr）	金屬密封+等離子體防護涂層
ALD/CVD	前驅(qū)體氣體精準(zhǔn)控制	快速響應(yīng)（<50 ms）+高線性度
離子注入機	束線真空隔離	超高真空密封（XHV級）
晶圓傳輸模塊	Loadlock快速抽真空	大口徑（可選VAT 48系列配合）

兼容性數(shù)據(jù)

氣體介質(zhì)：

兼容腐蝕性氣體（WF?、NH?、SiH?等），需指定鍍層（如PTFE或Al?O?）。

顆粒控制：

符合ISO 14644-1 Class 4潔凈度要求（每立方米≤3520顆粒，粒徑≥0.5 μm）。

5. 安裝與維護指南

安裝要點

法蘭對接：

使用無應(yīng)力安裝工具，避免閥體變形（扭矩限制：≤10 Nm）。

氣路連接：

氣源需配備0.1 μm過濾器，防止顆粒污染。

維護周期

常規(guī)檢查：

每3個月檢查密封面磨損（金屬密封壽命約10?次循環(huán)）。

深度維護：

每2年或50萬次循環(huán)后更換密封圈（原廠維修包編號：VAT-MK-61332）。
優(yōu)勢供應(yīng)：

商品編號61338-PEAE-0001

商品編號61348-PECN-0001

商品編號61340-PECE-0001

商品編號61344-PAAX-0001

商品編號61344-PEAX-0001

商品編號 61350-PAAK-0001

商品編號61338-PAAN-0001

商品編號61348-PAAQ-0001

61336-PACX-0001

61336-PACE-0001

61348-PEAQ-0001

61340-PECX-0001

61340-PACF-0001

61350-PAGQ-0001

61344-PACQ-0001

瑞士VAT高真空蝶形控制閥61332-KEAF-0001


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流量特性

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