氣體質量流量控制器

項目

D07-60B

D07-60BM

D07-60G

D07-60GM

流量規格

300，500，750，1000，1500，2000SLM

300，500，750，1000，1500，2000SLM

準確度

± 2% F.S.

± 2% F.S.

線性

±1% F.S.

±1% F.S.

重復精度

±0.2%F.S.

±0.2%F.S.

響應時間

＜ 10  sec

＜ 10  sec

工作壓差范圍

(0.25 ~ 0.5) MPa （≤1000SLM）
(0.4 ~ 0.6) MPa （＞1000SLM）

＜0.2 MPa

(0.25 ~ 0.5) MPa （≤1000SLM）
(0.4 ~ 0.6) MPa （＞1000SLM）

＜0.2 MPa

大工作壓力

0.6MPa

0.6MPa

耐壓

3 MPa

3 MPa

工作環境溫度

5~ 45 ℃

5~ 45 ℃

輸入信號

 0 ~ 5.00 V (輸入阻抗大于 100K)

無

 4~20 mA 或 1~5 VDC

無

輸出信號

0V ~ 5.00 V (輸出電流≤3mA)

4~20 mA 或 1~5 VDC

閥的類型

常閉

無

常閉

無

電源

+15V 50 mA
-15V 200 mA

+15V 50 mA
-15V 50 mA

+24VDC 400 mA

重量

6 kg

5 kg

6 kg

5 kg