詳細(xì)摘要：超純氫氣純化儀利用鈀擴(kuò)散原理提取超純氫氣廣泛應(yīng)用于材料學(xué)、氫氣的提純、氚氣的提純、電子、半導(dǎo)體、LED、多晶硅、氣相色譜儀、電子管等戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)。該產(chǎn)品應(yīng)用示范裝置的成功開車，標(biāo)志著我國(guó)具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的超純氫氣純化技術(shù)，可以為上述戰(zhàn)略性新