質量流量控制器

產品簡介：

流量計/控制器和壓力控制器廣泛應用于氣相色譜、分析設備、材料設備、生物醫藥、半導體等領域。

G300C 系列流量控制器可根據客戶需求定制，更加適用于客戶使用環境。

數字式設計簡介：

G300C 系列質量流量控制器標配高精度傳感器和數字電路，數字電路可完成測量及控制所需的所有基本功能。G300C 系列采用標準的RS-485 Modbus RTU 通信模式。RS-485總線zui高可擴展至 255 臺設備同時使用。

G300C 質量流量控制器特點：

? 高精度、高分辨率控制

? 低功率，功率＜2W

? 集成 20 種基礎氣體種類

? 可自定義 10 種混合氣體

? 控制參數自整定功能

? 數字化控制，RS-485 Modbus RTU 通信模式

? 寬流量量程范圍

? 無需預熱

? 無安裝方向限制

? 具有高重復性和高可靠性

? 采用電磁比例閥，使用壽命長，響應速度快

? 自帶溫度補償，補償范圍 0-50℃

? 內部閉環控制，具有高穩定性

? 小封裝尺寸

量程及精度簡介：

? 可用量程：z大0-50slpm

                     z小 0-1sccm

? 常備量程請參考選型表

? 量程比：1000:1

? 滿量程精度：±0.2%

? 讀取精度：±0.8%

? 可重復性：±0.2%FS

? 響應時間：＜100ms（調節 PID 控制參數可縮 短響應時間）

應用領域：

? 氣相和液相色譜儀 

? 半導體工藝 

? 氣體發生器   

? 環境監測設備  

? 配氣混氣系統

? 微反應裝置及材料制備實驗裝置（CVD）

功能介紹：

流量控制                          可實現高精度、高重復性、多種氣體質量流量控制。

累計流量                          可通過 Modbus-RTU 協議讀取累計流量。

獨立使用                          無需連接任何設備，可通過按鍵和顯示完成大部分功能操作。

多種量程選擇                  z小量程 1sccm，z大量程 50slpm。

內置 20 種基本氣體        內置 20 種基本氣體，氣體種類可定制。

10 種自定義混合氣        可根據使用需求，自定義混合氣。

多電氣接口                     標準配置 1 個 DC 插座，2 個 RJ45 接口，1 個 DB9 接口。

模擬控制                         0-5V 模擬控制信號輸入輸出。

數字控制                         按鍵控制或使用 RS-485 通信控制。

標準 Modbus-RTU      RS-485 通信采用標準 Modbus-RTU 通信協議。

參數自整定                    控制參數可通過協議或按鍵實現自動調整到z佳PID 控制參數。

設定值記憶功能             開啟該功能后，MFC 可記錄斷電前zui后一次設定值，再次通電直接執行該設定值。

閥控功能                        可實現閥全開、閥全關、閥自動閉環控制功能。

多臺設備串聯                 通過更改通信地址，z大可實現 255 臺設備串聯控制。

自定義波特率                  可通過 Modbus-RTU 設置自定義波特率。