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| 產地類別 | 國產 | 產品種類 | 電動 |
|---|---|---|---|
| 價格區間 | 面議 | 應用領域 | 綜合 |
FMSR-AB高精度氣浮轉臺
l閉式氣浮軸承結構
l直驅驅動，零齒槽效應
l微米級跳動誤差
l免費標準版SDK
l高性能控制器
l可選配EtherCAT總線控制
產品簡介
FMSR-AB高精度氣浮轉臺：我們研發的FMSR-AB系列氣浮轉臺采用經過特殊設計的空氣軸承,該軸承分別對剛度、承載能力和剛度進行了優化。與傳統的軸承相比,采用氣體為潤滑劑,因此所有運動都是無接觸的,因此在整個使用壽命之內,設備的性能保持不變,并且無需進行特殊維護。該旋轉臺采用氣體軸承可提供平穩的運動并擁有極低的俯仰、偏擺、滾動、偏航和線性誤差。另其具有清潔、無污染、無摩擦、運行阻尼小、使用壽命久等*性能。
產品應用
l圓度測量系統
l微米或納米斷層掃描成像
l精密制造
l同步輻射或X射線
l半導體行業
產品圖紙
FMSR150-AB
FMSR200-AB
FMSR250-AB
產品參數
Model | FMSR150-AB | FMSR200-AB | FMSR250-AB |
?程(°) | 360 | 360 | 360 |
額定扭矩(N.M) | 0.54 | 1.9 | 4.2 |
峰值扭矩(N.M) | 2.2 | 5.8 | 15.8 |
負載(Kg) | 30 | 30 | 60 |
分辨率(arcsec) | 0.2 | 0.2 | 0.2 |
最?步進量(arcsec) | 1 | 1 | 1 |
單向重復定位精度/保證值(arcsec) | ±2 or 4 | ±2 or 4 | ±2 or 4 |
單向重復定位精度/典型值(arcsec) | ±1 or 2 | ±1 or 2 | ±1 or 2 |
雙向重復定位精度/保證值(arcsec) | ±3 or 6 | ±3 or 6 | ±3 or 6 |
雙向重復定位精度/典型值(arcsec) | ±2 or 4 | ±2 or 4 | ±2 or 4 |
定位精度/保證值(arcsec) | ±5 or 10 | ±5 or 10 | ±5 or 10 |
定位精度/典型值(arcsec) | ±4 or 8 | ±4 or 8 | ±4 or 8 |
最?速度(RPM) | 200 | 200 | 120 |
端跳(μm) | 1 | 2 | 2 |
徑跳(μm) | 0.05 | 0.05 | 0.05 |
供氣壓力(MPa) | 0.4-0.6 | 0.4-0.6 | 0.4-0.6 |
重量(kg) | 15 | 25 | 30 |
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