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測量儀器
LFP 以 40 納米的分辨率測量衍射極限焦點處的強度分布。
世界上極少能揭示任何激光設備的性能和像差的納米級光束輪廓儀。
概覽
激光焦點輪廓儀（LFP）是用于測量激光焦點附近強度分布的精密測量儀器。LFP 是世界上極少能夠測量由高數值孔徑（NA）透鏡形成的超細焦點的產品。
激光焦點附近的強度分布是許多激光微/納米技術的關鍵性能指標。它評估激光顯微鏡的空間分辨率、激光束加工的效率、光學數據存儲的記錄密度、基于光鑷的力測量系統的彈簧常數、顯微鏡物鏡的性能。
使用 CCD/CMOS 相機的光束輪廓儀作為商業產品，可用于傳播激光束橫截面的強度分析。然而，由于像素尺寸大（至少超過一微米）導致的空間分辨率有限，很難直接應用于帶有顯微鏡物鏡的激光焦點。要將此輪廓儀應用于小于像素尺寸的焦點，需要用光學元件放大焦點并將其成像在探測器上。然而，這種放大方法可能會引入不想要的像差；很難對準，并且要求放大光學元件具有比用于聚焦激光束的更高的 ????。
刀刃法是另一種已被提出的原位技術，但由于刀刃的鋒利度、偽影等若干原因，尚未針對小激光焦點實現商業化。
LFP 利用 40 納米大小的金納米粒子，能夠高精度地測量僅有幾百納米的高數值孔徑（~1.4）透鏡的焦點。
特點
l高分辨率（40 納米；納米粒子的大小）
l適用于高數值孔徑聚焦透鏡（～1.4）
l高度為 26 毫米的緊湊型傳感器，可在顯微鏡載物臺上操作
l無需調整
l精確測量原理（無像差，最小化偽影）
l三維測量
應用
l激光顯微鏡
l激光加工
l激光制造
l光學存儲器
l光鑷
l光學裝置整體
l包括液體浸沒透鏡在內的各種顯微鏡物鏡
規格
零件清單
l包括消耗性探頭的 LFP 傳感器
l掃描儀（如果您選擇）
l控制器
l筆記本電腦
l電纜
LFP 傳感器
傳感器型號 | LFP-UV-111100 | LFP-VIS-166145 | LFP-NIR-166145 |
激光波長 | 200 nm ~ 400 nm | 400 nm ~ 1100 nm | 1000 nm ~ 1700 nm |
探頭 | Gold nanoparticl 40 nm | Gold nanoparticl 40 nm | Gold nanoparticl 4 0nm |
探頭數量（在光束照射區域，Φ100μm） | > 5 | > 5 | > 5 |
NALFP | 1.11 | 1.66 | 1.66 |
截止數值孔徑 | 1.00 | 1.45 | 1.45 |
光敏度（V/nW）（典型值） | TBD | TBD | TBD |
放大器截止頻率（Hz） | 160 | 160 | 160 |
放大器增益 | 100M | 100M | 100M |
尺寸(mm) | Φ30 H31 | Φ30 H26 | Φ30 H26 |
重量(g) | 55 | 50 | 50 |
掃描儀
掃描儀型號 | TBD XYZ | TBD XY |
軸 | x/y/z | x/y |
驅動類型 | Piezoelectric element | Piezoelectric element |
行程(μm) | 120/120/60 | 120/120 |
在 50 克負載下的共振頻率(Hz) | 155/155/155 | 155/155 |
重復性(nm) | ±5/±5/±5 | ±5/±5 |
位置傳感器 | Capacitive sensor | Capacitive sensor |
孔徑(mm) | Φ30 | Φ30 |
尺寸(mm) | □100 H26 | □100 H26 |
重量(kg) | 0.5 | 0.6 |
控制器
控制器 | TBD XY | TBD XY | TBD NA |
用于掃描儀驅動的輸出端口 | Drive x 3ch(SMB) Position sensor x 3ch(TJM) | Drive x 2ch(SMB) Position sensor x 2ch(TJM) AO(16bit,-10V to 10V) x 1ch, (TJM) Pulse output x 1ch (TJM) | AO(16bit,0V to 10V) x 3ch(TJM) Pulse output x 3ch (NBC) |
反饋控制類型 | PI Analog | PI Analog | N.A. |
輸入傳感器端口 | 1ch (BNC) | 1ch (BNC) | 1ch (BNC) |
輸入動態范圍 | 16bit | 16bit | 16bit |
PC 通信總線 | USB | USB | USB |
電源 | AC100 ～ 120V / AC200 ～ 240V selection | AC100 ～ 120V / AC200 ～ 240V selection | AC100 ～ 120V / AC200 ～ 240V selection |
功耗 | 100 VA | 100 VA | 50 VA |
尺寸(mm) | W236×D388×H140 | W236×D388×H140 | TBD |
重量(kg) | 5.4 | 5.4 | TBD |
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