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    上海攸亦光電科技有限公司
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    Edmund 極紫外 (EUV) 二向色濾光片
    • Edmund 極紫外 (EUV) 二向色濾光片
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    更新時(shí)間:2025-11-28 10:11:59

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    Edmund 極紫外 (EUV) 二向色濾光片,也稱為光束分離器,旨在通過(guò)在 EUV 和 NIR 波長(zhǎng)之間提供高分離效率,用于高諧波產(chǎn)生應(yīng)用。 這些濾光片采用高損傷閾值多層增透膜設(shè)計(jì),支持比布魯斯特角光束分離器和 EUV 濾光片更高的激光功率。 EUV 二向色濾光片具有從 5nm 到 40nm 的寬帶寬范圍。

    Edmund 極紫外 (EUV) 二向色濾光片

    • 將 EUV 與 NIR 激光源分開(kāi)

    • 透射型熔融石英設(shè)計(jì)最大限度地延長(zhǎng)組件使用壽命

    • 支持 13.5nm、20nm 和 30nm 應(yīng)用

    Edmund 極紫外 (EUV) 二向色濾光片,也稱為光束分離器,旨在通過(guò)在 EUV 和 NIR 波長(zhǎng)之間提供高分離效率,用于高諧波產(chǎn)生應(yīng)用。 這些濾光片采用高損傷閾值多層增透膜設(shè)計(jì),支持比布魯斯特角光束分離器和 EUV 濾光片更高的激光功率。 EUV 二向色濾光片具有從 5nm 到 40nm 的寬帶寬范圍。 除了產(chǎn)生高次諧波外,這些反射鏡還可用于支持 EUV 應(yīng)用的系統(tǒng),例如 EUV 光刻、EUV 納米加工和等離子體實(shí)驗(yàn)。

    通用規(guī)格


    尺寸容差 (mm):+0.0/-0.2直徑 (mm):50.80
    厚度 (mm):5.08 ±0.1鍍膜:Dielectric Multilayer AR
    基底:Fused Silica表面質(zhì)量:20-10
    平行度(弧分):<5面形計(jì)算 (RMS):<λ/10 @ 633nm


    產(chǎn)品型號(hào)


    波長(zhǎng)范圍 (nm)產(chǎn)品編碼
    10 - 25#18-279
    20 - 40#18-280



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