1. 產品概述：
Veeco 的 GEN20™ MBE 系統是一種超靈活的工具，其設計可針對 III-V 族和新興材料進行配置，包括需要集成電子束技術的應用。該系統采用生產設計技術，允許可選的集群工具晶圓傳輸系統，以實現理想的實驗室到晶圓廠遷移。
材料研究和預生產環境的理想選擇
垂直源到基板方向，具有 12 個 MBE 源端口和添加電子束功能的選項
手動或自動晶圓轉移選項可配置的低溫板、機械手、百葉窗和原位監測設備
模塊化設計允許多兩個增長模塊
Veeco 的 GEN20™ MBE 系統是一種超靈活的工具，其設計可針對 III-V 族和新興材料進行配置，包括需要集成電子束技術的應用。該系統采用生產設計技術，允許可選的集群工具晶圓傳輸系統，以實現理想的實驗室到晶圓廠遷移。
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