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    目錄:合肥新元素科技裝備有限公司>>系統(tǒng)爐>>PECVD系統(tǒng)爐>> OYS-1200C-II-60-PECVD滑動(dòng)PECVD系統(tǒng)爐

    滑動(dòng)PECVD系統(tǒng)爐

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    參考價(jià) 面議
    具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
    參考價(jià) 面議
    具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
    • 品牌 HF.weiyuansu
    • 型號(hào) OYS-1200C-II-60-PECVD
    • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
    • 所在地 合肥市
    屬性

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    >

    更新時(shí)間:2026-03-05 08:48:25瀏覽次數(shù):911評(píng)價(jià)

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    產(chǎn)地類別 國產(chǎn) 價(jià)格區(qū)間 面議
    儀器種類 管式爐 應(yīng)用領(lǐng)域 化工,生物產(chǎn)業(yè),鋼鐵/金屬,航空航天,綜合
    滑動(dòng)PECVD系統(tǒng)爐的低溫高效的特點(diǎn)使其在光伏、半導(dǎo)體、柔性電子等領(lǐng)域不可替代,與傳統(tǒng)CVD相比,PECVD的顯著優(yōu)勢(shì)是可在??較低溫度??下完成高質(zhì)量薄膜沉積,適用于不耐高溫的基材。
    OYS-1200C-II-60-PECVD系統(tǒng)爐是一款中型滑動(dòng)開啟式PECVD系統(tǒng)。此款成套設(shè)備配有等離子射頻電源,三路質(zhì)量流量混氣系統(tǒng)(量程為1-100SCCM,1-200SCCM,1-200SCCM),直徑為60mm的開啟式管式爐(帶真空法蘭和連接管道)及機(jī)械泵組成。

    滑動(dòng)PECVD系統(tǒng)爐技術(shù)參數(shù)

    規(guī)格型號(hào)

    Z高溫度

    加熱區(qū)長度

    加熱區(qū)長度

    額定功率

    額定電壓

    外型尺寸

    重量

    OYS-1200C-SL

    1200℃(<0.5 h)

    Φ25*1000mm
    Φ50*1000mm
    Φ60*1000mm
    Φ80*1000mm
    Φ100*1000mm

    440mm(單溫區(qū))

    3.1 KW

    AC220V

    1680mm*490mm*700mm

    約75KG

    ●爐體結(jié)構(gòu):PECVD系統(tǒng)爐采用雙層殼體結(jié)構(gòu),并帶有風(fēng)冷系統(tǒng),可有效降低殼體表面溫度;爐膛采用高純氧化鋁纖維材料,減少能量損失;內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層,可以提高反射率及設(shè)備的加熱效率,同時(shí)也可以延長儀器的使用壽命,帶有過熱和斷偶保護(hù),開門斷電,提高實(shí)驗(yàn)安全性;爐子的底部安裝有一對(duì)滑軌,可使?fàn)t子從爐管的一側(cè)滑動(dòng)到另一側(cè),以實(shí)現(xiàn)快速加熱和快速冷卻。

    ●控溫系統(tǒng):包含一款YD858型溫度控制器;PID控制和自整定調(diào)節(jié),智能化50段可編程控制,具有超溫和斷偶報(bào)警功能;控溫精度±1℃;默認(rèn)DB9 PC通信連接端口;可選購電腦溫度控制軟件(用于YD858P系列控制器)用于控制升溫曲線和導(dǎo)出數(shù)據(jù)。

    ●爐管:高純石英管φ100*1000mm,鍍鉻鋼制成的雙滑軌,手動(dòng)滑軌長度1400mm。
    ●真空法蘭:
      ◎配有一套304不銹鋼密封法蘭,采用硅膠密封圈密封。
      ◎不銹鋼真空法蘭安裝在爐管的兩端,便于組裝。
      ◎左端法蘭采用1/4英寸的卡套接頭,用于通入反應(yīng)氣體。
      ◎一個(gè)機(jī)械壓力表安裝在左端法蘭上,用于監(jiān)控管道壓力。
      ◎法蘭端提供Φ6.35mm卡套進(jìn)氣口,出氣端配有獨(dú)立的Φ9.2mm排氣口和球閥,設(shè)備預(yù)留KF25抽氣口和KF16真空計(jì)連接口,可連接真空組件。
    ●真空組件:
      ◎配齊真空泵1臺(tái)(抽速≥16m3/h,真空度≤5.0X10-1Pa)
      ◎電阻真空計(jì)1套
      ◎手動(dòng)擋板閥1個(gè)
      ◎波紋管1根
      ◎油霧過濾器1套
      ◎卡箍(型號(hào):KF25)≥3個(gè),以及相應(yīng)連接件
    ●極限真空度:≤1Pa(冷態(tài)空載)。
    ●進(jìn)氣:
      ◎配浮子流量計(jì)1套,量程可選,安裝在設(shè)備上;

      ◎氣瓶配備氣體減壓閥1套。

    ●標(biāo)準(zhǔn)配件:石英管 ≥1 支,莫來石管堵 ≥1 對(duì),不銹鋼法蘭 ≥1 套,硅膠密封圈 ≥2 套,高溫手套 ≥1 副,爐鉤 ≥1 支。

    滑動(dòng)PECVD系統(tǒng)爐認(rèn)證標(biāo)準(zhǔn)及核心零部件:整機(jī)核心部件均符合CE、UL、MET等認(rèn)證標(biāo)準(zhǔn);核心零部件有ABB電器元件,UL認(rèn)證電線、電纜,歐米茄,宇電、歐陸儀表等。




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