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頤光科技閃耀慕尼黑上海光博會 以硬核技術(shù)擘畫光學(xué)量測新藍圖
武漢頤光科技有限公司重磅亮相第二十一屆慕尼黑[詳細]
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悉光識微納 悉識科技攜半導(dǎo)體光學(xué)檢測方案亮相慕尼黑上海光博會
2026年03月20日 15:54:27
來源：化工儀器網(wǎng) 作者：宋池 點擊量：1372
3月18 日，2026慕尼黑上海光博會在上海開幕。悉識科技攜NS?20封裝涂層無損測厚儀亮相，聚焦半導(dǎo)體先進封裝檢測痛點，以非接觸、微區(qū)光斑、多層膜解析等核心技術(shù)，實現(xiàn)高精度、無損、智能化膜厚測量，展示國產(chǎn)光學(xué)精密測量裝備的創(chuàng)新突破與國產(chǎn)化替代實力。
3月18日，以“光啟新元?勢引未來”為主題的第二十一屆慕尼黑上海光博會在上海新國際博覽中心盛大啟幕。專注于光學(xué)精密測量技術(shù)的高科技企業(yè)蘇州悉識科技有限公司(AcuiTik)，攜核心產(chǎn)品NS-20封裝涂層無損測厚儀重磅亮相本次展會，針對半導(dǎo)體先進封裝等高端制造領(lǐng)域的膜厚檢測痛點，帶來高精度、全自主、智能化的無損檢測解決方案，展現(xiàn)國產(chǎn)光學(xué)測量設(shè)備的技術(shù)創(chuàng)新實力。
悉識科技參展人員合影
在半導(dǎo)體先進封裝等高端制造領(lǐng)域，薄膜厚度的精準管控是保障產(chǎn)品良率與工藝穩(wěn)定性的核心環(huán)節(jié)，但行業(yè)長期面臨多重檢測瓶頸：接觸式測量易劃傷芯片表面，破壞性切片檢測則成本高昂且無法實現(xiàn)全量檢測；芯片表面多層堆疊結(jié)構(gòu)復(fù)雜，傳統(tǒng)測量手段難以精準區(qū)分各層厚度數(shù)據(jù)；芯片邊緣狹縫、微結(jié)構(gòu)區(qū)域因傳統(tǒng)測量光斑尺寸過大，極易受臺階、鍵合線干擾導(dǎo)致信號散射失效。
針對上述行業(yè)痛點，悉識科技本次展出的NS-20封裝涂層無損測厚儀，專為半導(dǎo)體先進封裝涂層檢測場景定制打造。核心采用非接觸純光學(xué)測量原理，全程不接觸被測樣品，既規(guī)避了探針對芯片表面的劃傷與污染風(fēng)險，也無需破壞性處理，實現(xiàn)“零損傷”檢測，高度適配晶圓級量產(chǎn)工藝的無損監(jiān)控需求。產(chǎn)品可選配0.2mm微小測量光斑，可對芯片邊緣狹縫、微結(jié)構(gòu)實現(xiàn)定點精準測量；同時具備強多層結(jié)構(gòu)解析能力，可穿透復(fù)雜堆疊封裝結(jié)構(gòu)，同步提取各層薄膜絕對厚度，兼容三防膠、光刻膠、介質(zhì)層等各類封裝膠材全周期測量需求。
NS-20封裝涂層無損測厚儀
產(chǎn)品性能實現(xiàn)全面升級，具備15nm-1.5mm超寬測量量程，重復(fù)性精度低至0.02nm，可完成多層結(jié)構(gòu)全參數(shù)解析；搭載自研PolarX核心算法引擎，可自動解析薄膜厚度與光學(xué)常數(shù)，無需人工擬合即可秒級出數(shù)，操作極簡易上手；軟硬件100%自主可控，支持在線膜厚監(jiān)控集成，可靈活適配多場景測量需求。
據(jù)現(xiàn)場工作人員介紹，膜厚測量的核心是通過材料光學(xué)干涉反演真實物理厚度，多層膜層間干擾、相近折射率材料特征識別是行業(yè)公認的兩大技術(shù)難點。NS-20針對這兩大難題實現(xiàn)關(guān)鍵突破：依托自研核心算法，可精準識別多層薄膜的光學(xué)“指紋信息”，穩(wěn)定實現(xiàn)多層膜厚度的精準解析；通過創(chuàng)新算法，可提取光譜中材料的微弱特征信息，解決透明襯底上透明超薄膜的測量難題，除半導(dǎo)體核心場景外，也可覆蓋汽車玻璃、光學(xué)鏡片等領(lǐng)域的涂層檢測需求。
核心技術(shù)的突破，源于悉識科技深厚的研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化積淀。公司成立于2024年，由加州大學(xué)伯克利分校、復(fù)旦大學(xué)、上海交通大學(xué)等國內(nèi)外知名高校的碩博團隊聯(lián)合創(chuàng)立，核心團隊深耕半導(dǎo)體設(shè)備、高精度測量領(lǐng)域多年，擁有豐富的研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化經(jīng)驗。企業(yè)秉持“悉光識天地，洞察微納間”的理念，聚焦光學(xué)非接觸式膜厚精密測量技術(shù)的研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化，打造了桌面式、真空式、線掃式等全系列膜厚測量產(chǎn)品矩陣，測量范圍覆蓋1nm至3mm，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光電、新能源等高端制造領(lǐng)域。
作為亞太地區(qū)具有廣泛影響力的光電產(chǎn)業(yè)盛會，慕尼黑上海光博會是全球光電企業(yè)技術(shù)交流與產(chǎn)業(yè)協(xié)同的核心平臺。本次悉識科技攜核心產(chǎn)品亮相，不僅展現(xiàn)了國產(chǎn)光學(xué)精密測量設(shè)備的技術(shù)突破，也為高端制造領(lǐng)域提供了高可靠性的國產(chǎn)化檢測方案。未來，悉識科技將持續(xù)深耕光學(xué)精密測量領(lǐng)域，以更先進的解決方案助力各行業(yè)智能制造升級，為中國高端制造高質(zhì)量發(fā)展提供技術(shù)支撐。
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