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ESDEMC
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應(yīng)用領(lǐng)域	電子/電池,道路/軌道/船舶,航空航天,汽車及零部件,電氣

ES660 靜電放電和閂鎖測(cè)試系統(tǒng)

1. 描述

ES660 系列靜電放電和閂鎖 (LU) 測(cè)試系統(tǒng)是一款先進(jìn)的多針自動(dòng)測(cè)試設(shè)備，旨在滿足現(xiàn)代半導(dǎo)體測(cè)試的嚴(yán)格要求。這款多功能設(shè)備旨在無(wú)縫支持人體模型 (HBM)、機(jī)器模型 (MM) 和閂鎖測(cè)試，為評(píng)估集成電路 (IC) 和電子元件的可靠性和穩(wěn)健性提供全面的解決方案。ES660為ES612A系列的升級(jí)版，有更高的配置選擇。

ES660-P1 配置支持多達(dá)1280個(gè)引腳，非常適合測(cè)試具有大量連接的復(fù)雜 IC 和電子元件。其高引腳數(shù)容量可確保準(zhǔn)確高效地評(píng)估大型設(shè)備，從而縮短測(cè)試時(shí)間并提高生產(chǎn)率。

若需求更高的引腳數(shù)，ES660-P1配置可以升級(jí)為ES660-P2 (最多2560引腳)。

2. 特征

兼容多種測(cè)試方法和標(biāo)準(zhǔn)
高度靈活的偏置和引腳數(shù)配置能力
自動(dòng)化測(cè)試效率
擁有先進(jìn)的控制和監(jiān)控
泄漏和直流掃描
數(shù)據(jù)分析
多放電頭，軟件自動(dòng)切換

3. 應(yīng)用

半導(dǎo)體器件 ESD 測(cè)試
HBM 模塊符合 ANSI/ESDA/JEDEC JS-001 、 MIL-STD-883E、AEC Q100-002
MM模塊符合ANSI/ESDA SP5.2
閂鎖測(cè)試符合JEDEC JESD78
瞬態(tài)閂鎖符合 ANSI/ESD SP5.4.1

4. 規(guī)格

ES660基礎(chǔ)單元

參數(shù)	ES660	單位	備注
觸摸屏	5	inch
尺寸	480 X 497.5 X 265	mm
重量	28	kg	完整安裝
ESD 和 LU 波形	可選無(wú)源電壓和電流探頭
支持的示波器	Keysight、Tektronix、LeCroy、Rigol的主流型號(hào)		可定制
支持的 SMU	Keysight、Tektronix、LeCroy、Rigol的主流型號(hào)		可定制
支持的電源	Keysight、Tektronix、LeCroy、Rigol的主流型號(hào)		可定制

HBM 人體模型選項(xiàng)

（ANSI/ESDA/JEDEC JS-001）

參數(shù)	ES660-P1-HBM8	ES660-P1-HBM10	單位	備注
輸出電壓	±10～8000	±10～10000	V
放電RC值	C: 100 pF ± 10%, R: 1.5k? ± 1%
短路負(fù)載峰值電流Ips	0.67 ± 10 % 每 kV		A
短路負(fù)載上升時(shí)間trs	2 < trs < 10		ns
短路負(fù)載衰減時(shí)間tds	130 < tds < 170		ns
短路振鈴trs	< Ips 的15%
500Ω負(fù)載峰值電流Ipr	Ipr/Ips ≥ 63%
500Ω負(fù)載上升時(shí)間trr	5 < trr < 25		ns
最快脈沖速度	10		個(gè)/秒
同時(shí)脈沖數(shù)目	>=8			512引腳以上

MM機(jī)型選項(xiàng)

（ANSI/ESD SP5.2）

參數(shù)	ES660-P1-MM2	ES660-P1-MM4	單位	備注
輸出電壓	±10 ~ 2000	±10 ~ 4000	V
放電RC值	C: 200 pF, R: 0 ?
短路負(fù)載峰值電流Ip1	1.75±10% 每 100V
短路負(fù)載Ip2	Ip1的67% ~ 90%
短路負(fù)載脈沖周期tpm	66 < tpm < 90
500Ω負(fù)載峰值電流Ipr	0.85 – 1.2			@400 V條件符合標(biāo)準(zhǔn)
500Ω負(fù)載I100	0.23 – 0.4			@400 V條件符合標(biāo)準(zhǔn)
最快脈沖速度	10		個(gè)/秒
同時(shí)脈沖數(shù)目	>=8			512引腳以上

DC & 閂鎖選項(xiàng)

（JEDEC JESD78F.01）

參數(shù)	ES660-P1-LU	備注
預(yù)處理向量	可≥ 20 MHz，256K 深度	外部設(shè)置
V/I 4線開(kāi)爾文測(cè)量	是
DUT V/I 總線電源	3+1、5+1、7+1	支持DC源外部擴(kuò)展
LU 波形捕獲	是
矩陣最大DC電壓	200V
SSR 矩陣最大DC電壓 (V)	100V
引腳最大DC電流	2A
DC通道最大電流	15A
默認(rèn)閂鎖源最大電壓	>= 150V	最大限流1.2 A
默認(rèn)閂鎖源最大電流	>= 10A	最高電壓6 V

TLU 瞬態(tài)閂鎖選項(xiàng)

（ANSI/ESD SP5.4.1）

計(jì)劃閂鎖瞬態(tài)脈沖源的硬件支持：

ES622 (TLP/ VF–TLP ), EOS -500 (EOS), LVS-500 (LVS), MM

5. 訂購(gòu)信息

編號(hào)	型號(hào)	描述
基本單元選項(xiàng)
1.1	ES660-P1-BU	基于繼電器的 HBM/MM/LU ATE 系統(tǒng)基礎(chǔ)單元
1.2	ES660-P1-HBM8	HBM模型測(cè)試選項(xiàng)，電壓至8 kV
1.3	ES660-P1-HBM10	HBM模型測(cè)試選項(xiàng)，電壓至10 kV (停產(chǎn))
1.4	ES660-P1-MM2	MM模型測(cè)試選項(xiàng)，電壓至 2 kV
1.5	ES660-P1-MM4	MM模型測(cè)試選項(xiàng)，電壓至4 kV (停產(chǎn))
1.6	ES660-P1-LU	閂鎖測(cè)試選項(xiàng)（軟件）
1.7	ES660-P1-TLU	瞬態(tài)閂鎖測(cè)試選項(xiàng)（軟件 – TLP, EOS）
1.8	ES660-TFM	溫度控制模塊
繼電器卡及DC偏置選型
2.1	ES660-P1-R64B4	擴(kuò)展繼電器卡，64引腳，3+1 偏置
2.2	ES660-P1-R64B6	擴(kuò)展繼電器卡，64引腳，5+1偏置
2.3	ES660-P1-R64B8	擴(kuò)展繼電器卡，64引腳，7+1偏置
直流、漏電和閂鎖脈沖源選項(xiàng)
3.1	ES660-PSMU2	漏電\DC\LU 源：雙通道脈沖 SMU (210V/1.5A)
3.2	ES660-SMU1	漏電\直流源：?jiǎn)瓮ǖ?SMU (200V/1A)
3.3	ES660-PSU1	直流電源：靈活通道 PSU（ 32V/3A X 2 Ch + 6V/5A X 1 Ch 或 70V/3A X 1 Ch，或 32V/6A X 1 Ch + 6V/5A X 1 Ch）
3.4	ES660-PSU2	直流電源：3 通道 PSU（60V/3A X 2 Ch+5V/3A X 1 Ch，或125V/3A X 1 Ch）
3.5	ES660-PSU3	直流電源：高電流 PSU (20V/20A X 1 Ch )
3.6	ES660-PSU4	直流電源：高電流PSU (30V/25A X 1 Ch)
3.7	ES660-PSU5	直流電源： 3通道 PSU (30V/6A X 2 Ch，5V/3A X 1 Ch，或 60V/6A X 1 Ch)
3.8	ES660-PSU7	直流電源：雙量程 PSU (100V/1A, 或 30V/5A)
3.9	ES660-PSU-MC1	多通道PSU: 主框架, 帶示波器
3.10	ES660-PSUC1	多通道PSU: 50V, 5A, 50W模塊
3.11	ES660-PSUC2	多通道PSU: 50V, 10A, 100W模塊
3.12	ES660-PSUC3	多通道PSU: 60V, 5A, 300W模塊
3.13	ES660-PSUC4	多通道PSU: 100V, 1A, 100W模塊
3.14	ES660-PSUC5	多通道PSU: 100V, 3A, 300W模塊
3.15	ES660-PSUC6	多通道PSU: 150V, 2A, 300W模塊
測(cè)試插座選項(xiàng)
4.1	ES660-P1-DS512	DUT 插座 PCB 512 針
4.2	ES660-P1-DS1024	DUT 插座 PCB 1024 針
4.3	ES660-P1-DSC1	DUT 插座 PCB 定制引腳數(shù)
示波器選項(xiàng)
5.1	MISC-OSC350	數(shù)字示波器（ 350 MHz， 4 通道）
5.2	MISC-OSC1	Digital Oscilloscope (1 GHz, 5 GS/s, 4 Ch)
5.3	CT-T03-1p0	寬帶電流探頭，1V/A，2kHz – 2GHz

注: 母板，矩陣卡，波形板和自校驗(yàn)診斷板屬于設(shè)備的標(biāo)準(zhǔn)配置，因此不體現(xiàn)在訂購(gòu)信息中。

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