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| 產地類別 | 國產 | 產品種類 | 電動 |
|---|---|---|---|
| 價格區間 | 面議 | 應用領域 | 綜合 |
FMS165Z-H系列超高性能平移臺
l行程覆蓋150mm、200mm、250mm與300mm
l最小步進距離可達50納米
l高達5納米分辨率的光柵尺編碼器
l靜音位移臺
l拖鏈內置，方便線束管理
l免費標準版SDK
l高性能控制器
l可選配EtherCAT總線控制
產品簡介
FMS165Z-H系列超高性能平移臺：電動運動平臺同時具有高精度特性、高速能力、超低速運行能力、高穩定特性是非常困難的。2022年，我們專門為復雜科研應用開發了旗艦系列產品FMS165Z- H超高性能平移臺。FMS165Z-H解決了超低速運行穩定性難題，采?超高分辨率光柵尺配合超高精度裝配工藝，使該系列平移臺有優秀的超低速運行能力并達到亞μm級重復定位精度。FMS165Z-H采用內置拖鏈，方便線束管理，結合我們高性能版本的FMC04-H系列控制器，能較好呈現高性能版本控制器的所有高級功能，運行速度最高可達1m/s。
產品應用
l工業
l飛秒加工
l半導體
l顯微掃描
l光纖延遲線
l激光切割機
l激光焊接機
l醫療
l儀器設備制造
性能實測
接線定義
電機接?
反饋接?
產品圖紙
FMS165Z-150H
FMS165Z-200H
FMS165Z-250H
FMS165Z-300H
產品參數
Model | FMS165Z-150H | FMS165Z-200H | FMS165Z-250H | FMS165Z-300H |
?程(mm) | 150 | 200 | 250 | 300 |
負載(Kg) | 40 | 20 | 40 | 20 |
分辨率(μm) | 0.02 | 0.02 | 0.02 | 0.02 |
最?步進量(μm) | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
單向重復定位精度/保證值(μm) | ±0.2 | ±0.2 | ±0.2 | ±0.2 |
單向重復定位精度/典型值(μm) | ±0.1 | ±0.1 | ±0.1 | ±0.1 |
雙向重復定位精度/保證值(μm) | ±0.3 | ±0.3 | ±0.3 | ±0.3 |
雙向重復定位精度/典型值(μm) | ±0.2 | ±0.2 | ±0.2 | ±0.2 |
定位精度/保證值(μm) | ±1 | ±1 | ±1 | ±1 |
定位精度/典型值(μm) | ±0.5 | ±0.5 | ±0.5 | ±0.5 |
最?速度(mm/s) | 500 | 500 | 500 | 500 |
直線度(μm) | 5 | 5 | 5 | 5 |
平整度(μm) | 5 | 5 | 5 | 5 |
偏擺(arcsec) | 15 | 15 | 15 | 15 |
俯仰(arcsec) | 15 | 15 | 15 | 15 |
持續推?(N) | 58 | 29 | 58 | 29 |
峰值推?(N) | 200 | 100 | 200 | 100 |
重量(kg) | 13.5 | 13 | 18 | 17.5 |
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