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| 產地類別 | 進口 | 應用領域 | 化工,建材/家具,電子/電池,電氣,綜合 |
|---|---|---|---|
| 質量范圍 | 1-512 amu | 桿材料 | 鉬 |
| 最大工作壓力 (EM) 最大工作壓力 (EM) | 1 E-5 mbar | 軸離子源 | 3E-4 A/mbar |
| 橫束離子源 | 7E-5 A/mbar | 交叉光束氣密離子源 | 7E-5 A/mbar |
| 帶磁鐵的橫束離子源 | 7E-4 A/mbar | 帶磁鐵的交叉光束氣密離子源 | 7E-4 A/mbar |
| 網格離子源 | 2E-4 A/mbar | 分辨率（可調） | 0.3 - 7 amu |
| 最小可檢測部分壓力 | 1 E-15 mbar | 帶電子倍增器的分壓比 | < 0.5 ppb |
| 最高工作溫度 工作溫度（傳感器和電子元件） | 150 °C | 測量速度 | 0.125 ms - 60 s/amu |
OHKURA大倉 MF5143B 質量流量控制器
OHKURA大倉 MF5143B 質量流量控制器
MF5100B 系列是一款質量流量計/質量流量控制器，它兼具易用性和高性能，包括寬流量范圍、高溫度穩定性和三種模式的軟啟動功能。
特征
■寬廣的流量
范圍 我們提供從 5 SCCM 到 400 SLM 的寬廣流量范圍。
■高可靠性
通過集成各個回路并優化機械系統，我們實現了緊湊尺寸下的高可靠性。
■軟啟動功能
內置的軟啟動功能提供可調節的線性啟動時間（最長 70 秒），并可在三種模式下運行（更改設置時、開機時以及外部閥門關閉后再打開時）。
■高穩定性
溫度穩定性為 0.05%/°C，泄漏標準 可達 1× 10?1? Pa·m3 / s (He)。
*有關規格，請參閱規格表。
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