SuperViewW1 白光干涉3D表面輪廓儀

選納米級超光滑表面檢測設備，中圖儀器SuperViewW白光干涉3D表面輪廓儀以高性價比、全周期控成本的優勢，成為超精密制造企業的優選！

產品價值

1.采購成本

· 設備縱向0.1nm分辨率的精度，可一站式完成超光滑、透明、鏡面高反材料的粗糙度、3D形貌、臺階高、輪廓尺寸等多參數檢測，一臺替代多款專用納米級檢測設備，大幅降低企業初期設備投入；

· 無隱形消費，標配白光LED光源、Z向掃描模塊、氣浮隔振臺等核心部件，無需額外采購基礎配件。

2.使用成本

· 設備精度不隨物鏡倍率衰減，結合大圖拼接功能，大幅提升大面積超光滑樣品的檢測效率，減少人工操作時間，降低人力成本；

· 非接觸式測量避免損傷精密樣品，減少樣品損耗帶來的成本浪費。

3.運維成本

· 設備核心部件耐用性強，后期維修保養成本低，且適配多行業檢測需求，企業技術升級后無需頻繁更換設備，長期使用性價比突出；

· 批量采購可享專屬定制化報價，還可獲得免費的檢測方案優化服務，實實在在為企業節省全生命周期檢測成本。

技術參數

1.重復性：粗糙度RMS重復性可達 0.005nm（依據ISO 25178標準，測量Sa為0.2nm硅晶片）。

2.臺階測量精度：準確度達0.3%，重復性0.08% (1σ)。

3.超高分辨率：Z向掃描范圍10mm，形貌重復性STR達 0.1nm。

4.氣浮隔振：標配氣浮式隔振底座，有效隔離地面振動噪聲，確保每一次微觀測量的精準。

5.高清影像：搭載 1024×1024 高分辨率影像系統，微觀細節纖毫畢現 。

6.全電動控制：Z軸電動聚焦（行程100mm），可選配5孔電動物鏡轉塔及XY自動位移載物臺，操作絲滑精準。

7.豐富的鏡頭群：標配10×干涉物鏡，可選配從2.5×到100×的多種規格，配合光學ZOOM，滿足不同視場需求。

8.便捷操控：配備集成式操縱桿，支持三軸調節、速度控制及光源調節，像玩游戲一樣輕松搞定精密測量。

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懇請注意：因市場發展和產品開發的需要，本產品資料中有關內容可能會根據實際情況隨時更新或修改，恕不另行通知，不便之處敬請諒解。