microVEGA® FC 激光微加工
- 公司名稱 岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 microVEGA® FC
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時間 2025/12/27 10:18:38
- 訪問次數(shù) 610
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| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 價格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 能源,電子/電池,航空航天,汽車及零部件,電氣 | 組成要素 | 半導(dǎo)體激光器產(chǎn)品及設(shè)備 |
MicroLED激光修復(fù)系統(tǒng)、激光缺陷修復(fù)設(shè)備用于半導(dǎo)體芯片上連接線切割的高精度激光修整
MicroLED激光修復(fù)系統(tǒng)、激光缺陷修復(fù)設(shè)備可針對半導(dǎo)體行業(yè)中的不同應(yīng)用執(zhí)行高吞吐量的激光微加工。該系統(tǒng)將高精度工藝與高動態(tài)性能相結(jié)合。因此,其可能的應(yīng)用包括:
-
數(shù)字邏輯電路的編程,
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數(shù)字電位器的修整,
-
芯片上半導(dǎo)體存儲器的修復(fù),
-
失效微LED的移除。
MicroLED像素級修復(fù)工藝得益于其高度靈活的工具配置,microVEGA FC 能夠處理 200 毫米和 300 毫米的晶圓MicroLED像素缺陷修復(fù)工作,加工速度高達(dá) 400 毫米/秒,使其在成本、產(chǎn)量、MicroLED良率提升和靈敏度方面成為理想的生產(chǎn)解決方案。
MicroLED激光修復(fù)系統(tǒng)、激光缺陷修復(fù)設(shè)備采用微米級個位數(shù)的激光光斑,在半導(dǎo)體晶圓上連續(xù)移動。在此過程中,激光以高速選擇性地加工特定的微結(jié)構(gòu)。由于這些結(jié)構(gòu)尺寸微小(約 1-2 微米),因此要求激光光斑相對于這些結(jié)構(gòu)具備很高的三維定位精度。為此,microVEGA FC 配備了集成的測量技術(shù),以實現(xiàn) 100% 的工藝控制。
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