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    化工儀器網>產品展廳>行業專用儀器及設備>其它行業專用儀器>激光脈沖沉積(PLD)>microVEGA® FC 用于半導體芯片鏈路切割的激光修調技術

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    microVEGA® FC 用于半導體芯片鏈路切割的激光修調技術

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    岱美儀器技術服務(上海)有限公司(Dymek Company Ltd ,下面簡稱岱美)總部設在中國香港,成立于1989年,是一間擁有多年經驗的高科技設備分銷商,主要為數據存儲、半導體、光通訊、高校及研發中心提供各類測量設備、工序設備以及相應的技術支持,并與一些重要的客戶建立了長期合作的關系。自1989年創立至今,岱美的產品以及各類服務、解決方案廣泛地運用于中國香港,中國大陸(上海、東莞、北京),中國臺灣,泰國,菲律賓,馬來西亞,越南及新加坡等地區。


    岱美在中國大陸地區主要銷售或提供技術支持的產品:

    晶圓鍵合機、納米壓印設備、紫外光刻機、涂膠顯影機、硅片清洗機、超薄晶圓處理設備、光學三維輪廓儀、硅穿孔TSV量測、非接觸式光學三坐標測量儀、薄膜厚度檢測儀、主動及被動式防震臺系統、應力檢測儀、電容式位移傳感器、定心儀等。


    岱美重要合作伙伴包括有:

    Thetametrisis, EVG, FSM, Opto-Alignment, Herz, PLSINTEC, Film Sense, Reditech, Lazin, Delcom, Microsense, Shb, boffotto, RTEC, Kosaka, Nanotronics, MTInc, 4D, Daeil, Microphysics,

    n&k Technology, First Nano, Schmitt, LESCO, Otsuka, STI, Kurashiki, Ryokosha, SURAGUS, Westbond...


    如有需要,請聯系我們,了解我們如何開始與您之間的合作,實現您的企業或者組織機構長期發展的目標。






    膜厚儀,輪廓儀,EVG鍵合機,EVG光刻機,HERZ隔震臺,Microsense電容式位移傳感器

    產地類別 進口 價格區間 面議
    應用領域 能源,電子/電池,汽車及零部件,電氣,綜合

    microVEGA FC 系統可針對半導體行業中的多種應用執行高通量激光微加工。該系統可用于編程數字邏輯電路、修調數字電位器,或修復芯片上的半導體存儲器。此外,它還能用于剔除失效的 MicroLED 像素。得益于其高度靈活的工具配置,microVEGA FC 可兼容 200 毫米和 300 毫米晶圓,從而在成本、產能、良率和工藝敏感性方面成為理想的量產解決方案。


    亮點

    高通量“飛行加工”

    橋接工具功能,支持8英寸和12英寸晶圓加工

    在線工藝控制與監控

    加工速度可達 400 mm/s

    激光光斑對芯片鏈路的定位精度達 ±200 nm


    microVEGA® FC - 系統配置

    microVEGA FC 采用微米級(個位數微米)激光光斑,在半導體晶圓表面連續移動。在此過程中,激光可選擇性地加工多個芯片單元中預設的微結構。這種修調工藝能夠對特定芯片進行修改,從而啟用或禁用某些功能。由于芯片結構尺寸極小(約1–2 µm),要求激光光斑相對于這些結構具備超高精度的三維定位能力。為此,microVEGA FC 集成了的測量技術,以實現100%的工藝過程控制。


    適用于

    在晶圓級對半導體芯片功能進行修改,例如

    電位器修調

    數字邏輯電路編程

    DRAM 存儲器修復

    MicroLED 修復

    安全功能植入

    晶圓尺寸

    晶圓尺寸最大可達 300 m

    精度

    系統定位精度:± 200 nm ( 3 Sigma)

    激光光斑直徑:可在2至6 µm范圍內自由調節

    環境溫控:21°C +/- 0.1 

    激光源與光路系統

    ns 激光源

    標準波長:1,062 nm

    可選其他波長(532 nm / 355 nm)

    脈沖形狀與脈寬可配置

    集成測量系統

    集成在線能量傳感器

    集成在線激光光束分析儀

    原位(in-situ)攝像頭

    所有相關數據均保存至日志文

    標準

    可選 CE 或 UL 認證

    激光安全等級:Class 1

    潔凈室等級:ISO Class 3

    符合 SEMI S2/S8 標準

    選配項

    自動晶圓傳輸系統

    支持 FOUP, SMIF 及開放式晶圓盒載片端口

    支持手動、MGV 或 AGV 上料方式

    預對準模塊

    RFID 讀取器

    支持 SECS/GEM 通信接口

    晶圓  ID 識別讀取器

    系統尺寸·1,643 mm x 2,540 mm x 4,134 mm (寬, 高, 深)包含自動晶圓傳輸系統






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